[实用新型]一种安装稳定的石墨舟卡点

说明书

本实用新型公开了一种安装稳定的石墨舟卡点，属于石墨舟领域，包括方形柱、防掉落弹簧片、防松动弹簧片、硅片卡帽和石墨板，本方案卡点的方形柱左右两侧插接有防掉落弹簧片，当方形柱插接安装在方形孔内部时，防掉落弹簧片会受到挤压变形收缩进入竖槽A内部，当方形柱完全安装在方形孔内部后，防掉落弹簧片的限位勾一端露出，并在弹性势能作用下，形状自动复原，卡合在方形孔的两侧，防止方形柱从方形孔内部脱落，延长卡点的使用寿命，本方案卡点的方形柱一侧插接安装有防松动弹簧片，当方形柱完全安装在方形孔内部后，防松动弹簧片处于挤压形变状态，能够持续挤压方形柱紧贴方形孔的内壁，避免方形柱松动。

技术领域

本实用新型涉及石墨舟领域，更具体地说，涉及一种安装稳定的石墨舟卡点。

背景技术

石墨舟是硅片镀膜的载体，石墨舟由石墨板、陶瓷杆以及电极等组成，石墨板上开设有卡点插孔，卡点插孔内插接有石墨舟卡点，石墨舟卡点用于支撑硅片，硅片在进行表面镀膜工序时，需要将未镀膜的硅片插入石墨舟中并通过石墨舟卡点将其定位于石墨舟上，然后将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备中，采用PECVD工艺对硅片进行镀膜。

由于镀膜过程中需要对石墨舟通入较大的电流，因此卡点和硅片的接触部位在大电流下会产生高温，出现烧焦的情况，烧焦的部位十分影响后续硅片的镀膜，因此需要定期对石墨舟进行清洗，以除去卡点表面的烧焦部分，但是多次清洗后也会导致卡点和石墨板上的卡点插孔之间间隙增大，导致卡点松动，容易脱落。

因此多次清洗后的卡点还是需要更换，目前常用的卡点正视图呈哑铃型，如专利号为CN216550698U的一种石墨舟卡点及石墨舟，该卡点在多次清洗后就需要定期更换。

但是卡点烧焦的部位为锥形帽和硅片接触的部位，而非整个卡点本身，整体更换卡点则不够经济使用，不能延长卡点的使用寿命。

实用新型内容

1.要解决的技术问题

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种安装稳定的石墨舟卡点，它可以防止方形柱从方形孔内部脱落，延长卡点的使用寿命。

2.技术方案

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。

一种安装稳定的石墨舟卡点，包括方形柱、防掉落弹簧片、防松动弹簧片、硅片卡帽和石墨板，所述石墨板的内部开设有方形孔，所述方形柱插接安装在方形孔内部，所述方形柱的左右两侧对称开设有竖槽A，且方形柱的前表面开设有竖槽B，所述方形柱的上表面和下表面中心均设置有T型座。

进一步的，所述竖槽A的内部对称开设有矩形插孔A，所述防掉落弹簧片和矩形插孔A一一对应，且防掉落弹簧片的一端插接在矩形插孔A内部。

进一步的，所述防掉落弹簧片的一端设置有锥形弯段，所述锥形弯段的底端设置有限位勾，所述矩形插孔A的内部插接有两个所述防掉落弹簧片，两所述防掉落弹簧片关于矩形插孔A的中心镜像对称。

进一步的，所述竖槽B的内部对称开设有矩形插孔B，所述防松动弹簧片的两端插接在矩形插孔B内部。

进一步的，所述硅片卡帽的底端设置有连接柱，所述连接柱的内部开设有T型槽，且连接柱通过T型槽嵌套在T型座的外侧。

3.有益效果

相比于现有技术，本实用新型的优点在于：

(1)本方案卡点的方形柱左右两侧插接有防掉落弹簧片，当方形柱插接安装在方形孔内部时，防掉落弹簧片会受到挤压变形收缩进入竖槽A内部，当方形柱完全安装在方形孔内部后，防掉落弹簧片的限位勾一端露出，并在弹性势能作用下，形状自动复原，卡合在方形孔的两侧，防止方形柱从方形孔内部脱落，延长卡点的使用寿命。