[实用新型]一种晶圆解理框架装夹装置

权利要求书

1.一种晶圆解理框架装夹装置,其特征在于，包括：

载台(100)，具有适于放置框架(400)的安装空间和与所述安装空间贯通设置的至少两个第一槽体，所述第一槽体的延伸方向为待解理的晶圆的解理方向；

第一固定件(200)和第二固定件(300)，分别活动设置在两个第一槽体中，用于固定所述框架(400)的边框，以对所述框架(400)施加朝向解理方向运动的预紧力。

2.根据权利要求1所述的晶圆解理框架装夹装置，其特征在于，所述第一槽体为呈“十”字型分布的四个，相应的，第一固定件(200)为共线设置的两个，第二固定件(300)为共线设置的两个。

3.根据权利要求2所述的晶圆解理框架装夹装置，其特征在于，所述第一固定件(200)包括：

第一固定块(201)，所述第一固定块(201)上设有第二槽体，所述第二槽体中设有适于固定所述框架(400)的边框的夹持机构。

4.根据权利要求3所述的晶圆解理框架装夹装置，其特征在于，所述第一固定块(201)顶部开设有导向孔，所述导向孔中设有施力结构，所述夹持机构包括分设在所述第二槽体相对两侧的第一夹持件(205)和第二夹持件(204)，所述第二夹持件(204)延伸至所述导向孔中与所述施力结构抵接，并在所述施力结构的作用下朝向或远离所述第一夹持件(205)运动，以夹紧或松开所述框架(400)的边框。

5.根据权利要求4所述的晶圆解理框架装夹装置，其特征在于，所述施力结构包括滑动设置在导向孔内的锥形滑块(202)和设于所述锥形滑块(202)底部的弹簧(208)，所述弹簧(208)与导向孔底部固定连接，所述第二夹持件(204)与所述锥形滑块(202)的锥面抵接，以在锥形滑块上下运动时，朝向或远离所述第一夹持件(205)运动。

6.根据权利要求5所述的晶圆解理框架装夹装置，其特征在于，还包括设于所述导向孔预定位置的限位件(207)，所述限位件(207)适于限定所述锥形滑块(202)的最高运动位置。

7.根据权利要求1-6任一项所述的晶圆解理框架装夹装置，其特征在于，第一固定件(200)和第二固定件(300)上分设有第一锁紧件(206)和第二锁紧件(302)，所述载台(100)上设有与所述第一槽体贯通设置的第一通孔，所述第一锁紧件(206)和第二锁紧件(302)分别贯穿相应的第一通孔与紧固件(102)连接。

8.根据权利要求7所述的晶圆解理框架装夹装置，其特征在于，所述紧固件(102)包括螺纹连接的螺柱和螺帽，所述螺柱和螺帽中设有允许所述第一锁紧件(206)或第二锁紧件(302)贯穿的第二通孔，所述第二通孔和第一通孔偏心设置，转动所述螺帽，以使得所述第一锁紧件(206)或第二锁紧件(302)穿入所述第二通孔中，调整第一固定件(200)和第二固定件(300)的位置，或者将所述第一锁紧件(206)或第二锁紧件(302)锁死。

9.根据权利要求7所述的晶圆解理框架装夹装置，其特征在于，所述第一固定件(200)和第二固定件(300)端面分别设置有固定柱(209)，固定柱(209)适于固定第一锁紧件(206)和第二锁紧件(302)。

10.根据权利要求1-6任一项所述的晶圆解理框架装夹装置，其特征在于，所述载台(100)端面设置有若干限位螺钉(103)。