[实用新型]一种新型全自动电子级化学品罐充流水线系统

说明书

本实用新型涉及一种新型全自动电子级化学品罐充流水线系统，包括箱体以及穿过箱体内前部的电动滚筒线，箱体前侧设置有触摸屏操作面板和充填工位，箱体内后部设置有仪电控制室，仪电控制室侧面设有相机定位显示屏，仪电控制室与相机定位显示屏电连接，箱体内顶部设置有自动锁盖工位，电动滚筒线将桶输送至充填工位对应的桶区域，充填工位处装设有抱桶转桶机构，充填工位上方布置有六轴机械手臂，自动锁盖工位处安装有自动锁盖机构，自动锁盖机构上安装有精定位相机和粗定位相机；本实用新型同现有技术相比，解决了传统生产线采用人工开盖，手动操作桶口定位，阀门的闭合由人工完成操作，所存在的效率低以及具有一定安全隐患的问题。

[技术领域]

本实用新型涉及化学品罐充设备技术领域，具体地说是一种新型全自动电子级化学品罐充流水线系统。

[背景技术]

目前市场上的新型全自动电子级化学品罐充设备应用广泛，随着国内中国芯行业的不断发展，芯片生产线在我国也已开始越来越规模化及精细化，其目的是实现对芯片上加工出更好的工序，使其制程良率提升，加工过程中必须使用化学品来做为加工媒介，对芯片进行蚀刻、显影、研磨等等制程。而作为半导体制程使用之前端的化学品纯化分装系统，在分装化学品输送过程中，如发生任何的污染都可能会造成无法估量的损失，因此为了不断提高化学品分装供应系统的稳定性和可靠性，化学品原料供应厂商已越来越重视该化学品纯化制程中的每一环节。

化学品纯化后的分装包材一般分5大类，分别是槽车(LORRY)，吨桶，(Tote)，200L桶(200L Drum)，4L/20L桶，由于半导体体制造工艺中需要使用到较多种类的化学品。大部分半导体厂在有限的场地条件下绝大部分厂商对于使用量相对不大的化学品都选用双标准桶(DualDrum)或者双IBC(Intermediate Bulk Containers)复合型中型(散装容器)供应系统方式。多数传统生产线采用人工开盖，手动操作桶口定位，阀门的闭合都是人工完成操作，效率低，也有一定的安全隐患。

此外，传统生产线还存在以下问题和缺点：(1)视觉判断对光源要求严格，若光源出现光照强弱影响视觉判断精度不高导致视觉判断失败。(2)自动锁盖机构有极小的概率，开盖时不能完全进入桶盖，出现卡盖现象，导致拧盖失败。

[实用新型内容]

本实用新型的目的就是要解决上述的不足而提供一种新型全自动电子级化学品罐充流水线系统，解决了传统生产线采用人工开盖，手动操作桶口定位，阀门的闭合由人工完成操作，所存在的效率低以及具有一定安全隐患的问题。

为实现上述目的设计一种新型全自动电子级化学品罐充流水线系统，包括箱体22以及穿过箱体22内前部的电动滚筒线4，所述箱体22前侧设置有触摸屏操作面板3、充填工位一1和充填工位二2，所述充填工位一1和充填工位二2沿电动滚筒线4流水线方向布置，所述箱体22内后部设置有仪电控制室5，所述仪电控制室5侧面设有相机定位显示屏6，所述仪电控制室5与相机定位显示屏6电连接，所述箱体22内顶部设置有自动锁盖工位一7和自动锁盖工位二8，所述自动锁盖工位一7、自动锁盖工位二8分别与充填工位一1、充填工位二2对应布置，所述电动滚筒线4将200L桶输送至充填工位一1和充填工位二2对应的桶一23和桶二24区域，所述充填工位一1、充填工位二2处分别装设有将桶夹紧并驱动转桶的抱桶转桶机构一11、抱桶转桶机构二12，所述充填工位一1、充填工位二2上方分别布置有六轴机械手臂一20、六轴机械手臂二21，所述自动锁盖工位一7、自动锁盖工位二8处分别安装有自动锁盖机构一13、自动锁盖机构二14，所述自动锁盖机构一13上安装有精定位相机一15和粗定位相机一17，所述自动锁盖机构二14上安装有精定位相机二16和粗定位相机二18。

进一步地，所述抱桶转桶机构一11和抱桶转桶机构二12均包括支架一25、伺服电机26、扭力电机27、支架二29和活塞气缸28，所述伺服电机26、扭力电机27安装在支架一25上，所述活塞气缸28安装在支架二29上，所述支架一25与支架二29安装在箱体22内且前后对称布置，所述抱桶转桶机构一11和抱桶转桶机构二12分别将桶一23和桶二24夹紧，并由伺服电机26驱动转桶。