[实用新型]制备三氯氢硅的反歧化装置

说明书

制备三氯氢硅的反歧化装置包括四氯化硅管道、二氯二氢硅管道、高低沸罐、压力装置、进料预热器、反歧化塔、塔顶气相管道、回流装置、侧采管道、侧采循环装置、釜采装置、去反歧化器，所述制备三氯氢硅的反歧化装置将副产物四氯化硅和二氯二氢硅通过反歧化反应生成三氯氢硅，提高了生产系统三氯氢硅的收率，降低了废物处理过程中的物耗，且反应条件温和易实现，一方面解决了二氯二氢硅的富集问题，降低了二氯二氢硅富集的安全隐患，另一方面解决了四氯化硅的污染问题及资源的浪费，实现了副产物的高效回收利用。

技术领域

本实用新型涉及制备多晶硅技术领域，尤其涉及制备三氯氢硅的反歧化装置。

背景技术

在制备多晶硅过程中，会有四氯化硅和二氯二氢硅副产物的产生。四氯化硅极易与水发生反应生成硅酸与氯化氢，并且直接排放对人和环境有极大地危害，也造成了资源的浪费。同时，二氯二氢硅在分离过程中逐渐富集，易燃易爆十分危险，传统工艺使用碱淋法将其作为废物处理，既增大难度又增大物耗。因此造成了四氯化硅的极大浪费和二氯二氢硅存在安全隐患。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种减少四氯化硅的浪费和降低二氯二氢硅安全隐患的制备三氯氢硅的反歧化装置。

制备三氯氢硅的反歧化装置包括四氯化硅管道、二氯二氢硅管道、高低沸罐、压力装置、进料预热器、反歧化塔、塔顶气相管道、回流装置、侧采管道、侧采循环装置、釜采装置、去反歧化器，所述四氯化硅管道的出口和二氯二氢硅管道的出口分别与高低沸罐的进口连接，高低沸罐的出口与压力装置的进口连接，压力装置的出口与进料预热器的进口连接，进料预热器的出口与反歧化塔的侧采进口连接，反歧化塔设有塔顶气相出口，塔顶气相出口与塔顶气相管道的进口连接，塔顶气相管道的出口与回流装置的进口连接，回流装置的出口与反歧化塔连接，反歧化塔的侧采出口与侧采管道的进口连接，侧采管道的出口与侧采循环装置的进口连接，反歧化塔还设有塔釜出口，塔釜出口与釜采装置的进口连接，釜采装置的出口与去反歧化器的进口连接。

优选的，所述压力装置包括进料缓冲罐、进料泵，所述高低沸罐的出口与进料缓冲罐的进口连接，进料缓冲罐的出口与进料泵的进口连接，进料泵的出口与进料预热器的进口连接。

优选的，所述回流装置包括冷凝器、回流罐、回流泵、回流管道、顶采管道，顶气相管道的出口与冷凝器的进口连接，冷凝器的出口与回流罐的进口连接，回流罐的出口与回流泵的进口连接，回流泵设有回流出口，回流出口与回流管道的进口连接，回流管道的出口与反歧化塔连接；

回流泵还设有顶采出口，顶采出口与顶采出管道的进口连接，顶采管道的出口与去反歧化器的进口连接。

优选的，所述侧采循环装置还包括侧采冷却器、侧采泵、粗三氯氢硅球罐、精馏装置进料预热器，所述侧采管道的出口与侧采冷却器的进口连接，侧采冷却器的出口与侧采泵的进口连接，侧采泵设有第一侧采泵出口、第二侧采泵出口和第三侧采泵出口，第一侧采泵出口与粗三氯氢硅球罐的进口连接，第二侧采泵出口与进料缓冲罐的进口连接，第三侧采泵出口与精馏装置进料预热器的进口连接。

优选的，釜采装置还包括釜采管道、釜采泵，所述釜采出口与釜采管道的进口连接，釜采管道的出口与釜采泵的进口连接，釜采泵的出口与进料预热器的进口连接。

优选的，所述制备三氯氢硅的反歧化装置还包括混合气体管道，所述混合气体管道的出口与精馏系统的进口连接。

优选的，所述制备三氯氢硅的反歧化装置还包括四氯化硅球罐，所述四氯化硅球罐的出口与高低沸罐的进口连接。

有益效果：本实用新型的制备三氯氢硅的反歧化装置将副产物四氯化硅和二氯二氢硅通过反歧化反应生成三氯氢硅，提高了三氯氢硅的收率，降低了废物处理过程中的物耗，且反应条件温和易实现，一方面解决了二氯二氢硅的富集问题，降低了二氯二氢硅富集的安全隐患，另一方面解决了四氯化硅的污染问题及资源的浪费，实现了副产物的高效回收利用。

附图说明