[实用新型]一种改善键合初始压力均匀性的下压装置

权利要求书

1.一种改善键合初始压力均匀性的下压装置，包括下压盘(1)，所述下压盘(1)的上侧设有晶圆A(2)，所述晶圆A(2)的上侧设有晶圆B(3)，其特征在于，所述晶圆B(3)的上方设有上压盘(4)，所述下压盘(1)的两侧均设有弹性支撑机构，所述上压盘(4)的上侧中心位置转动连接设有球形连接头(5)，所述球形连接头(5)的外侧顶部固定设有导向杆(6)，所述导向杆(6)的上方设有用于导向杆(6)下移的驱动源。

2.根据权利要求1所述的一种改善键合初始压力均匀性的下压装置，其特征在于，所述弹性支撑机构包括；侧板(7)，所述侧板(7)的数量为两个，且两个所述侧板(7)分别设置于下压盘(1)的左右两侧底端，所述侧板(7)的上侧固定设有若干弹簧(8)，所述弹簧(8)的顶端设有压板(9)，所述压板(9)的所在位置高度高于晶圆B(3)的放置高度。

3.根据权利要求2所述的一种改善键合初始压力均匀性的下压装置，其特征在于，所述压板(9)靠近下压盘(1)的一侧固定设有若干限位滑块(11)，所述下压盘(1)靠近压板(9)的一侧设有若干限位滑槽(10)，所述限位滑槽(10)滑动连接在限位滑块(11)的内侧。

4.根据权利要求1所述的一种改善键合初始压力均匀性的下压装置，其特征在于，所述下压盘(1)的下侧固定设有底板(12)，所述底板(12)的下侧四角位置固定均设有防滑块(13)。

5.根据权利要求4所述的一种改善键合初始压力均匀性的下压装置，其特征在于，所述底板(12)的上侧固定设有若干支撑杆(14)，所述支撑杆(14)的顶端固定设有支撑板(15)，所述驱动源设置于支撑板(15)的上侧中心位置，所述驱动源采用为气缸(16)，所述气缸(16)的轴端与导向杆(6)的上端相连接。

6.根据权利要求5所述的一种改善键合初始压力均匀性的下压装置，其特征在于，两个所述支撑杆(14)相对的一侧间滑动连接设有挡板(18)，所述挡板(18)的下侧中心位置转动连接设有螺纹杆(17)，所述螺纹杆(17)的下端通过螺纹传动贯穿于底板(12)的上侧且延伸至下，所述螺纹杆(17)的下端固定设有限位片(19)。