[实用新型]一种芯片制造用高效多点测试探针装置

权利要求书

1.一种芯片制造用高效多点测试探针装置，其特征在于：包括底板(1)、竖向移动组件(2)、探测组件(3)和安装组件(4)；

底板(1)：上端四角设有安装孔；

竖向移动组件(2)：设置在底板(1)的上侧；

安装组件(4)：设置在底板(1)的上端；

探测组件(3)：包含滑槽(31)、滑块(32)、探测仪(33)、连接杆(34)和数据线(37)，所述滑槽(31)开设在竖向移动组件(2)中的滑板(21)下侧，所述滑槽(31)形状为横向，所述滑槽(31)的内部滑动连接有滑块(32)，所述滑块(32)的下端固定连接在探测仪(33)，所述探测仪(33)的左右两侧固定连接有多个数据线(37)，所述数据线(37)的外周侧固定连接有连接杆(34)，所述连接杆(34)的上端固定连接在滑块(32)的下端。

2.根据权利要求1所述的一种芯片制造用高效多点测试探针装置，其特征在于：所述探测组件(3)还包含塑性管(35)和探针(36)，所述数据线(37)的侧端固定连接有塑性管(35)，所述塑性管(35)的底端固定连接有探针(36)。

3.根据权利要求1所述的一种芯片制造用高效多点测试探针装置，其特征在于：所述竖向移动组件(2)包含滑板(21)、滑杆(22)和连接块(23)，所述底板(1)的上端四角封闭固定连接有四个滑杆(22)，所述滑杆(22)的外周侧滑动连接有滑板(21)，所述滑板(21)的上端固定连接有连接块(23)。

4.根据权利要求3所述的一种芯片制造用高效多点测试探针装置，其特征在于：所述竖向移动组件(2)还包含侧板(25)、立杆(27)和转辊(28)，所述底板(1)的后端中部固定连接有立杆(27)，所述立杆(27)的上端左右两侧封闭固定连接有两个侧板(25)，两个侧板(25)之间转动连接有转辊(28)。

5.根据权利要求4所述的一种芯片制造用高效多点测试探针装置，其特征在于：所述竖向移动组件(2)还包含缆线(24)和吊块(26)，所述转辊(28)的中部连接有缆线(24)，所述缆线(24)的一端固定连接有吊块(26)，所述吊块(26)的另一端固定连接连接块(23)。

6.根据权利要求1所述的一种芯片制造用高效多点测试探针装置，其特征在于：所述安装组件(4)包含安装板(41)和安装槽(42)，所述底板(1)的上端中部设有多个安装板(41)，所述安装板(41)的上侧开设有安装槽(42)。