[实用新型]一种吸嘴及吸附模组有效
| 申请号: | 202222554083.1 | 申请日: | 2022-09-27 |
| 公开(公告)号: | CN219226257U | 公开(公告)日: | 2023-06-20 |
| 发明(设计)人: | 史赛;尤伟;潘亮 | 申请(专利权)人: | 苏州华兴源创科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
| 代理公司: | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人: | 王喆 |
| 地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 吸附 模组 | ||
1.一种吸嘴,其特征在于,包括:
吸嘴座;以及
与吸嘴座连接的吸嘴头;
所述吸嘴座上形成用以与抽真空设备连接的气体通道;
所述吸嘴头的吸附口与气体通道连通;
所述吸嘴还包括移动件;
所述移动件包括可在吸嘴头内上下运动的移动部以及与移动部结合固定的作用部;
所述移动件被配置为当吸嘴吸附取料时,所述移动件在真空吸力作用下向上运动使得移动件完全位于吸嘴头内,产品吸附固定于吸附口上;当吸嘴放料时,所述移动件在自身重力作用下向下运动,所述作用部由吸附口向下凸出从而推动位于吸附口上的产品,使得产品与吸嘴头分离。
2.根据权利要求1所述的吸嘴,其特征在于,所述吸嘴头包括第一连接件以及与第一连接件结合固定的吸头;
所述吸附口形成于吸头上;所述第一连接件内形成有用以与气体通道连通的第一通道;所述吸头内形成与吸附口连通的第二通道;所述第一通道和第二通道连通;所述移动部位于第二通道内。
3.根据权利要求1所述的吸嘴,其特征在于,所述吸嘴座上形成有环形台面;所述吸嘴头上包括有环绕所述吸嘴头的凸台;所述吸嘴座套设于吸嘴头上;
所述吸嘴座与吸嘴头之间设置有弹簧;所述弹簧的一端与环形台面连接固定,另一端与凸台连接固定;所述吸嘴头可沿吸嘴座的轴向运动。
4.根据权利要求1所述的吸嘴,其特征在于,所述吸嘴包括用以连接吸嘴座与吸嘴头的固定件;所述吸嘴座上形成有固定孔;所述吸嘴头上形成有沿吸嘴头的轴向方向延伸的条形孔;所述固定孔与条形孔位置对应;所述固定件螺接于固定孔上;所述固定件的端部位于条形孔内。
5.根据权利要求1所述的吸嘴,其特征在于,所述移动件上形成有气流槽;
所述气流槽被配置为当吸嘴吸附取料时,所述气流槽与气体通道和吸附口均连通。
6.根据权利要求2所述的吸嘴,其特征在于,所述第二通道内包括有由吸头的内壁表面向内延伸形成的第一凸环,所述第一凸环用以与移动件的移动部抵接。
7.一种吸附模组,其特征在于,包括可转动的驱动轴;以及
沿驱动轴轴向方向X方向排列的至少两组吸附单元;
每组吸附单元包括有沿X方向排列的两个第二连接件;
所述第二连接件的一端部连接于驱动轴上,另一端部上包括有吸附件;
所述吸附件包括如权利要求1-6中任一项所述的吸嘴;
同一吸附单元的两个第二连接件可在所述驱动轴的转动驱动力下相互靠近或相互远离;
相邻两组吸附单元可在驱动轴的转动驱动力下相互靠近或相互远离。
8.根据权利要求7所述的吸附模组,其特征在于,所述吸附件还包括主体;所述吸嘴通过主体与抽真空设备连接;所述吸嘴与主体之间配置有弹性件。
9.根据权利要求7所述的吸附模组,其特征在于,所述吸附模组还包括用以驱动全部吸附件沿Y方向运动的升降机构。
10.根据权利要求7所述的吸附模组,其特征在于,所述吸附件通过微调组件安装于第二连接件上;所述微调组件包括与第二连接件结合固定的连接板以及与吸附件结合固定的调节板;所述连接板包括有沿X方向延伸的凹槽;所述调节板包括有与凹槽对应配合的凸起;所述调节板被配置为可在外力作用下带动吸附件相对于连接板运动。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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