[实用新型]一种无油工艺气体循环系统

说明书

本申请涉及化学气相沉积制备技术领域，具体而言，涉及一种无油工艺气体循环系统，可以解决油封容易磨损，使外部的油气以及空气进入到腔室中，这些杂质气体就会严重影响产品质量，影响了循环使用的工艺气体的纯度，最终影响产品质量的问题。所述循环系统包括：气相沉积装置，所述气相沉积装置包括沉积室及尾气室，用于进行化学气相沉积；尾气循环管道，所述尾气循环管道的一端连接于所述尾气室的排气口，另一端连接于所述沉积室的进气口，在所述尾气循环管道上安装有干式真空泵，且所述干式真空泵的密封方式采用磁流体密封，用于将化学气相沉积中剩余的尾气，进行循环利用。

技术领域

本申请涉及化学气相沉积制备技术领域，具体而言，涉及一种无油工艺气体循环系统。

背景技术

化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术。化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料。

在很多化学气相沉积工艺过程中，某些工艺气体起到诸如催化的作用，并不参与化学反应，但对沉积工艺又不可或缺。传统的沉积工艺原料气体都是一次性使用。这对于不参与反应(不会产生损耗)的原料气体来说，是极大的浪费。特别是昂贵的气体，于是就有了循环使用、重复利用的需要，普通的真空泵组注重的是将反应腔室内的气体抽出排放，并且现有干式真空泵的高速旋转轴密封采用油封方式。

然而，油封容易磨损，使外部的油气以及空气进入到腔室内，再将反应腔室内的气体抽出排放时，会混入到工艺气体内抽出的气体，一旦要重复使用，这些杂质气体就会严重影响产品质量，影响了循环使用的工艺气体的纯度，最终影响产品质量。

实用新型内容

为了解决油封容易磨损，使外部的油气以及空气进入到腔室中，这些杂质气体就会严重影响产品质量，影响了循环使用的工艺气体的纯度，最终影响产品质量的问题，本申请提供了一种无油工艺气体循环系统：

根据本申请实施例的一个方面，提供了一种无油工艺气体循环系统，所述循环系统包括：

气相沉积装置，所述气相沉积装置包括沉积室及尾气室，用于进行化学气相沉积；

尾气循环管道，所述尾气循环管道的一端连接于所述尾气室的排气口，另一端连接于所述沉积室的进气口，在所述尾气循环管道上安装有干式真空泵，且所述干式真空泵的密封方式采用磁流体密封，用于将化学气相沉积中剩余的尾气，进行循环利用。

在一些实施例中，所述循环系统还包括：

气体净化装置，所述气体净化装置设置于所述尾气循环管道上，用于对尾气中所含杂质进行净化。

在一些实施例中，所述干式真空泵为爪型真空泵，所述干式真空泵包括：

泵体，在所述泵体中设置有多级泵腔及两个转动槽，多级所述泵腔中分别设置有两个爪型转子，在隔板上的左右转子的位置还开设有吸气口和排气口，用于利用容积变化，通过两个爪型转子高速反向旋转，同时进行吸气与排气，两个所述爪型转子的尖爪部分会将所述泵腔完全封闭；

转轴，包括主动转轴及从动转轴，所述主动转轴及从动转轴分别安装于两个所述转动槽中，用于带动两个所述爪型转子转动；

磁流体密封装置，所述磁流体密封装置设置于所述主动转轴及从动转轴的上下两端。

在一些实施例中，所述磁流体密封装置包括：

永磁体，所述永磁体环形设置于所述转轴与所述泵体接触位置，靠近底部的一侧，

导磁体，所述导磁体环形设置于所述转轴与所述泵体接触位置，靠近顶部的一侧，并且所述导磁体与所述永磁体相对设置；