[实用新型]MEMS麦克风

说明书

本实用新型提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述背板包括本体部和连接所述本体部和所述基底的固定部，所述背板还设有凸出所述本体部的若干条状加强筋。与相关技术相比，本实用新型提供的MEMS麦克风可以提高背板的强度。

【技术领域】

本实用新型涉及电声转换领域，尤其涉及一种MEMS麦克风。

【背景技术】

近年来移动通信技术已经得到快速发展，消费者越来越多地使用移动通信设备，例如便携式电话、能上网的便携式电话、个人数字助理或专用通信网络进行通信的其他设备，其中麦克风则是其中重要的部件之一，特别是MEMS麦克风。

微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)麦克风是一种利用微机械加工技术制作出来的电能换声器，其具有体积小、频响特性好、噪声低等特点。随着电子设备的小巧化、轻薄化发展，MEMS麦克风被越来越广泛地运用到这些设备上。

相关技术中的MEMS麦克风包括具有背腔的基底以及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板及与所述背板相对设置的振膜。背板的强度对MEMS麦克风的可靠性很重要，另外，背板上设有若干通孔，会进一步降低背板的强度，从而影响产品的可靠性

因此，有必要提供一种改进的MEMS麦克风来解决上述问题。

【实用新型内容】

本实用新型要解决的技术问题是提供一种背板强度较高的MEMS麦克风。

为解决上述技术问题，提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述背板包括本体部和连接所述本体部和所述基底的固定部，所述背板还设有凸出所述本体部的若干条状加强筋。

优选的，每根所述加强筋连接所述本体部的相对设置的两个边缘。

优选的，至少一根所述加强筋经过所述背板的中心。

优选的，所述加强筋沿所述背板中心呈中心对称设置。

优选的，所述加强筋沿所述背板本体部的径向延伸。

优选的，所述加强筋包括多根平行间隔设置的横条加强筋和与所述横条加强筋垂直的多根平行间隔设置的竖条加强筋。

优选的，所述背板还设有位于所述固定部和本体部连接处的连接块，所述连接块分别与所述固定部和本体部连接。

优选的，所述固定部和所述本体部垂直，所述连接块为楔形。

优选的，所述加强筋位于所述本体部靠近所述基底的一侧。

优选的，所述背板设有若干贯穿所述本体部的通孔。

与相关技术相比，由于背板设有若干条状的加强筋，可加强背板的强度，提高MEMS麦克风的性能。

【附图说明】

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：

图1为本实用新型第一实施方式提供的MEMS麦克风剖视图；

图2为本实用新型第一实施方式提供的MEMS麦克风的背板结构示意图；

图3为本实用新型第二实施方式提供的MEMS麦克风的背板结构示意图。

【具体实施方式】