[实用新型]一种外延炉调节气流用省力扳手

说明书

本实用新型涉及一种外延炉调节气流用省力扳手，包括引脚固定把手、引脚支架和引脚移动把手，所述的引脚固定把手下侧竖直安装有引脚支架，所述的引脚固定把手的一端上转动安装有引脚移动把手，所述的引脚移动把手的一端朝引脚支架上部延伸，并插入到引脚支架内，所述的引脚支架内部设置有贯穿两侧的中空部，中空部内安装有引脚固定头，所述的引脚固定头上端与引脚移动把手的插入端转动相连，所述的引脚固定头的下端安装有引脚安装部，所述的引脚安装部上安装有引脚结构。本实用新型具有结构简单、安装难度低、操作简便、使用寿命长等特点。

技术领域

本实用新型涉及半导体加工工艺技术领域，特别是涉及一种外延炉调节气流用省力扳手。

背景技术

常规的外延炉上的气流调节孔上通过引脚螺帽螺钉进行密封，引脚螺帽螺钉在开启和关闭时，通常选择借助老虎钳将引脚螺帽螺钉从气流调节孔拔出或塞入，从而实现调节气流的作用，而该方法会造成外延炉气流调节螺钉损坏、操作费时费力、可能造成气流调节不到位或过度调节等异常，为了解决上述问题，需要设计一种辅助结构来实现气流调节孔的闭合和开启。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种外延炉调节气流用省力扳手，具有结构简单、安装难度低、操作简便、使用寿命长等特点。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种外延炉调节气流用省力扳手，包括引脚固定把手、引脚支架和引脚移动把手，所述的引脚固定把手下侧竖直安装有引脚支架，所述的引脚固定把手的一端上转动安装有引脚移动把手，所述的引脚移动把手的一端朝引脚支架上部延伸，并插入到引脚支架内，所述的引脚支架内部设置有贯穿两侧的中空部，中空部内安装有引脚固定头，所述的引脚固定头上端与引脚移动把手的插入端转动相连，所述的引脚固定头的下端安装有引脚安装部，所述的引脚安装部上安装有引脚结构。

本技术方案中通过设置引脚固定把手用来将本装置与外延炉进行对接，使得引脚支架能够对气流调节孔进行对齐，同时通过设置引脚移动把手，方便用户操作，通过引脚移动把手的杠杆原理来方便引脚固定头下的引脚结构能够从气流调节孔内快速插入或拔出，方便操作的同时，确保密封插销不会受到额外外力而形变，确保装置的使用寿命。

作为对本技术方案的一种补充，所述的引脚结构下端伸出引脚安装部，上端设置有直径大于本身的对接帽。

本技术方案中引脚结构类似螺栓和螺钉的结构，其上端采用对接帽的结构，并匹配安装在引脚安装部内，使得装置进行插拔动作时，主要受力点可以在对接帽上，同时引脚结构的杆身处于竖直状，方便插入到气流调节孔内进行密封。

作为对本技术方案的一种补充，所述的引脚固定头上端设置有连接凸出，连接凸出和引脚移动把手的端部之间通过转轴连接。

本技术方案中通过设置连接凸出，方便引脚固定头与引脚移动把手对接，同时通过转轴连接，方便引脚移动把手控制引脚固定头进行下压动作。

作为对本技术方案的一种补充，所述的引脚移动把手与引脚固定把手对接点与插入引脚支架的端末之间的长度占引脚移动把手总长的三分之一。

本技术方案中通过控制引脚移动把手与引脚固定把手对接点与插入引脚支架的端末之间的长度，能够优化整个装置，使得装置操作时更加省力，确保插入的力量和拔出的力量既不会太大也不会太小，确保动作流畅，保证装置使用稳定。

有益效果：本实用新型涉及一种外延炉调节气流用省力扳手，通过设置引脚固定把手用来将本装置与外延炉进行对接，使得引脚支架能够对气流调节孔进行对齐，同时通过设置引脚移动把手，方便用户操作，通过引脚移动把手的杠杆原理来方便引脚固定头下的引脚结构能够从气流调节孔内快速插入或拔出，方便操作的同时，确保密封插销不会受到额外外力而形变，确保装置的使用寿命，具有结构简单、安装难度低、操作简便、使用寿命长等特点。

附图说明

图1是本实用新型的主视图；