[实用新型]多片晶圆上下料装置

权利要求书

1.多片晶圆上下料装置，其设置在工作台上，以用于将反应前的多片晶圆(1)上料至反应腔(9)内，并对经所述反应腔(9)反应后的多片所述晶圆(1)下料，其特征在于，所述多片晶圆上下料装置包括：

第一机械手(5)、第二机械手(6)及上料组件(8)，所述第一机械手(5)用于将反应前的多片所述晶圆(1)移至所述上料组件(8)内，所述第二机械手(6)用于将托盘(2)移至所述上料组件(8)内，所述托盘(2)上设置有多个放置部(21)，一个所述放置部(21)用于放置一片所述晶圆(1)，所述第一机械手(5)和所述第二机械手(6)均与所述上料组件(8)选择性连通；

第三机械手(7)及下料组件(10)，所述第三机械手(7)位于传输腔(13)内，所述传输腔(13)分别与上料组件(8)、所述下料组件(10)及所述反应腔(9)选择性连通，所述第三机械手(7)用于将所述上料组件(8)内的所述晶圆(1)及所述托盘(2)移至所述反应腔(9)内、以及用于将所述反应腔(9)内的所述托盘(2)及经反应后的所述晶圆(1)移至所述下料组件(10)，以使所述第一机械手(5)将所述下料组件(10)内的所述晶圆(1)移出、所述第三机械手(7)将所述下料组件(10)内的所述托盘(2)移至所述上料组件(8)内。

2.如权利要求1所述的多片晶圆上下料装置，其特征在于，所述上料组件(8)包括：

壳体(81)，其内形成有容纳腔体(82)，所述壳体(81)分别与所述第一机械手(5)、所述第二机械手(6)和所述第三机械手(7)之间设置有一个阀门(12)，所述阀门(12)用于选择性连通或隔断所述壳体(81)与所述第一机械手(5)、所述第二机械手(6)或所述第三机械手(7)，且所述容纳腔体(82)内设置有环形支撑座(86)，所述环形支撑座(86)用于放置所述托盘(2)；

旋转组件(83)，其设置在所述壳体(81)上，所述旋转组件(83)用于驱动所述环形支撑座(86)相对于所述壳体(81)绕所述环形支撑座(86)在竖直方向上的中心线旋转，以带动所述环形支撑座(86)上的所述托盘(2)旋转至预放位置。

3.如权利要求2所述的多片晶圆上下料装置，其特征在于，所述旋转组件(83)包括：

第一驱动件(831)、主动轮(832)、同步带(834)及从动轮(833)，所述第一驱动件(831)与所述主动轮(832)驱动连接，所述同步带(834)的两端分别套设在所述主动轮(832)与所述从动轮(833)上，所述从动轮(833)套设在所述环形支撑座(86)上，所述第一驱动件(831)用于驱动所述主动轮(832)转动，使所述从动轮(833)带动所述环形支撑座(86)相对于所述壳体(81)转动。

4.如权利要求2所述的多片晶圆上下料装置，其特征在于，所述上料组件(8)还包括：

旋转升降组件(84)，其一端设置在所述壳体(81)的底端，另一端向靠近所述壳体(81)的方向延伸至所述容纳腔体(82)内；

多个支撑件(85)，多个所述支撑件(85)均匀设置在所述旋转升降组件(84)的顶端，且多个所述支撑件(85)均位于所述环形支撑座(86)的内侧，所述支撑件(85)与所述环形支撑座(86)上的所述托盘(2)上的所述放置部(21)正对设置，所述支撑件(85)用于放置所述晶圆(1)；

多个晶圆夹爪(87)，多个所述晶圆夹爪(87)均匀设置在所述容纳腔体(82)内，所述晶圆夹爪(87)位于所述环形支撑座(86)和所述支撑件(85)的上方，一个所述晶圆夹爪(87)与一个所述支撑件(85)对应设置，所述晶圆夹爪(87)用于夹住所述支撑件(85)上的所述晶圆(1)或者松开所述晶圆(1)至所述支撑件(85)上；

其中，所述旋转升降组件(84)用于带动所述支撑件(85)转动，以使所述第一机械手(5)将反应前的多片所述晶圆(1)分别放置在多个所述支撑件(85)上；所述旋转升降组件(84)还用于带动所述支撑件(85)在竖直方向上移动，以将多个所述晶圆(1)分别放置在所述托盘(2)上的多个所述放置部(21)。