[实用新型]一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设备

权利要求书

1.一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设备，用于金刚石拉拔模具的多晶薄膜涂层不规则曲面的均匀抛光，包括工作台，其特征在于：还包括安装于所述工作台上的、对金刚石拉拔模具进行夹持的夹持装置，以及相对于所述金刚石拉拔模具进给方向可调、并柔性贴合于所述多晶薄膜涂层、以对所述多晶薄膜涂层进行抛光处理的抛光装置，所述多晶薄膜涂层成型于所述金刚石拉拔模具的内孔表面；还包括抛光过程中、喷淋于所述多晶薄膜涂层表面的金刚石微粉混合液，以及对所述金刚石微粉混合液进行混料并输送的混料输送装置。

2.根据权利要求1所述的一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设备，其特征在于：所述抛光装置包括线性模组，以及经由第一安装板安装于所述线性模组上的导轨组件，所述导轨组件垂直于所述线性模组布设；还包括经由第二安装板滑动安装于所述导轨组件上的抛光组件，相邻于所述第二安装板、于所述导轨组件上滑动安装有第三安装板，所述抛光装置还包括可驱使所述第三安装板相对于所述第二安装板移动、而调节所述第三安装板和所述第二安装板间间距的调距器，以及可拆卸的连接于所述第二安装板和所述第三安装板间的柔性力施加器。

3.根据权利要求2所述的一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设备，其特征在于：所述抛光组件包括安装于所述第二安装板上的低速电主轴，以及连接于所述低速电主轴上的磨头组件，所述磨头组件包括转动连接于所述低速电主轴上的磨杆，以及一体成型于所述磨杆上的磨头，所述磨头的外表面类球面设置。

4.根据权利要求2所述的一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设备，其特征在于：所述柔性力施加器包括圆柱形弹簧，以及一端与所述圆柱形弹簧连接的拉力传感器，所述圆柱形弹簧的另一端可拆卸的连接于所述第二安装板上，所述拉力传感器的另一端可拆卸的连接于所述第三安装板上，所述调距器包括分别安装于所述第一安装板上的丝杠支撑座和固定座，以及安装于所述第三安装板上的丝杠螺母，还包括一端依次穿过所述丝杠支撑座、所述丝杠螺母而与所述固定座连接的丝杆，以及连接于所述丝杆另一端的手轮。

5.根据权利要求1所述的一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设备，其特征在于：所述混料输送装置包括混料杯，以及对所述混料杯中加入的金刚石细粉和水或金刚石细粉和油两种物料进行搅拌混合的搅拌器；还包括对所述混料杯中混合好的金刚石微粉混合液输送的蠕动泵，以及连通所述蠕动泵的输送管。

6.根据权利要求1所述的一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设备，其特征在于：所述夹持装置包括安装于所述工作台上的安装座，以及安装于所述安装座上的支撑板；还包括依次安装于所述支撑板一端的减速器和与所述减速器传动连接的电机，以及外圈与所述支撑板连接的回转轴承，所述回转轴承的内圈经由连接板连接有卡盘，所述金刚石拉拔模具夹持于所述卡盘上。

7.根据权利要求2所述的一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设备，其特征在于：于所述第一安装板上安装有槽型传感器，以对所述第二安装板沿所述导轨组件的滑动而极限限位，而将所述抛光组件对准所述金刚石拉拔模具。

8.根据权利要求1所述的一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设备，其特征在于：还包括对抛光装置磨削修整的、角度可调的磨削修整装置，所述磨削修整装置包括经由支架安装于所述工作台上的高速电主轴，以及转动连接于所述高速电主轴上的磨削修整头，于所述工作台上开设有弧形槽，所述支架的一端固定于所述工作台上，所述支架的另一端滑设于所述弧形槽内。

9.根据权利要求4所述的一种金刚石拉拔模具多晶薄膜涂层抛光设备，其特征在于：经由所述柔性力施加器对所述抛光装置施加一柔性力、使其与多晶薄膜涂层的不规则曲面保持柔性贴合，所述柔性力的大小为5～7N。