[实用新型]一种用于晶圆加工设备的进气装置及晶圆加工设备

权利要求书

1.一种用于晶圆加工设备的进气装置，其特征在于，包括混气部以及进气部，所述混气部包括至少两个进气管以及混气腔，所述进气管均与所述混气腔连通，所述混气腔设置有至少两个出气孔，所述出气孔沿所述混气腔外周布置，所述进气部包括腔室，所述出气孔与所述腔室连通，所述腔室与所述晶圆加工设备的反应腔连通，所述腔室的径向尺寸大于所述混气腔的径向尺寸。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆加工设备的进气装置，其特征在于，所述混气腔的轴线与所述腔室的轴线垂直。

3.根据权利要求1所述的用于晶圆加工设备的进气装置，其特征在于，所述进气装置还包括导流部，所述进气部设置于所述导流部的顶部，所述导流部用于将从所述进气部的所述腔室内流出的气体导流至所述晶圆加工设备的反应腔的内部。

4.根据权利要求3所述的用于晶圆加工设备的进气装置，其特征在于，所述导流部的顶部开设有阀口，所述阀口的内部开设有至少两个第二通孔，所述第二通孔与所述腔室连通，所述第二通孔还与所述晶圆加工设备的反应腔连通。

5.根据权利要求4所述的用于晶圆加工设备的进气装置，其特征在于，所述导流部还包括导流板，所述导流板位于所述第二通孔的下方，所述导流板与所述第二通孔均呈45°。

6.根据权利要求1所述的用于晶圆加工设备的进气装置，其特征在于，所述混气部还包括气体通道，所述气体通道被构造成环形，所述气体通道将所述进气管与所述混气腔连通。

7.根据权利要求6所述的用于晶圆加工设备的进气装置，其特征在于，所述气体通道的内壁具有内层和外层，所述内壁上开设有至少两个第一气孔以及至少两个第二气孔，所述第一气孔以及所述第二气孔的孔径被构造成由内层到外层逐渐减小，以使得所述第一气孔形成第一顶角，所述第二气孔形成第二顶角。

8.根据权利要求7所述的用于晶圆加工设备的进气装置，其特征在于，所述第一气孔以及所述第二气孔成对布置，所述第一气孔的所述第一顶角与所述第二气孔的所述第二顶角的朝向相反。

9.根据权利要求7所述的用于晶圆加工设备的进气装置，其特征在于，所述第一顶角以及所述第二顶角均为45°。

10.一种晶圆加工设备，其特征在于，包括根据权利要求1至9中任一项所述的用于晶圆加工设备的进气装置。