[实用新型]一种载物台

权利要求书

1.一种载物台，用于承载晶圆，其特征在于，包括：

底座；

承接部，设置在所述底座上；

载台，设置在所述承接部上；

环形支撑部，设置在所述载台上，所述环形支撑部包括设置在所述载台上的支撑板，所述支撑板上设有若干组直径不同的通孔和设于所述通孔内壁的承载件，所述承载件用于承载所述晶圆。

2.根据权利要求1所述的载物台，其特征在于，所述承接部包括驱动滑台，所述驱动滑台设置在所述底座上，所述驱动滑台上滑动设有滑动组件，所述驱动滑台用于驱动所述滑动组件进行滑动。

3.根据权利要求2所述的载物台，其特征在于，所述滑动组件包括第一滑台和第二滑台，所述第一滑台滑动设置在所述驱动滑台上，所述第二滑台滑动设置在所述第一滑台上，所述第一滑台滑动方向与所述第二滑台滑动方向相互垂直。

4.根据权利要求3所述的载物台，其特征在于，所述底座上表面的前侧与后侧均设置有滑槽，所述滑槽内滑动设置有与之相适配的滑块，所述滑块连接在所述第一滑台的侧壁上。

5.根据权利要求3所述的载物台，其特征在于，所述第二滑台底部两侧均连接有导向块，所述第一滑台的两侧壁均设置有两组限位缓冲块，两组所述限位缓冲块以前后对称的方式设置在所述第一滑台的侧壁上，所述导向块设置在对称设置的所述限位缓冲块之间。

6.根据权利要求1所述的载物台，其特征在于，若干组所述通孔的边缘部分相互重叠。

7.根据权利要求1所述的载物台，其特征在于，所述载台底部连接有多组支柱，所述载台通过支柱连接在所述承接部上。

8.根据权利要求1所述的载物台，其特征在于，所述底座上表面设置有安装部，所述安装部设置在所述环形支撑部下方。