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[实用新型]一种反射镜装置-CN202222392553.9有效
发明人：李心怡;李瑞青;陈菱婧;马铁中 -专利权人： 北京昂坤半导体设备有限公司
申请日： 2022-09-08 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G02B7/198 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种反射镜装置，包括安装座组件，所述安装座组件包括安装基板、转轴固定座，所述转轴固定座之间转动连接有安装座，所述安装座上安装有反射镜；拍摄组件，所述拍摄组件包括安装板，所述安装板上连接有滑动板，所述滑动板上通过连接螺钉固定连接有镜头固定板，所述镜头固定板上固定有镜头，所述镜头远离所述反射镜的一端连接有相机；所述安装座底部设有斜块，所述斜块紧贴所述安装座远离所述反射镜的一侧，以使所述反射镜转动至与所述斜块顶面平行，本实用新型解决了现有技术中反射镜无法调整其反射角度，当晶圆在载台上位置发生改变时，相机无法完整拍摄晶圆图像的问题。
一种反射装置

[实用新型]一种光源设备-CN202222392474.8有效
发明人：李心怡;李瑞青;陈菱婧;马铁中 -专利权人： 北京昂坤半导体设备有限公司
申请日： 2022-09-08 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： G03B15/03 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种光源设备，用于拍摄晶圆图像时的照明，所述光源设备包括：照明组件，所述照明组件包括照明光源以及固定在所述照明光源上的光源固定板，所述照明光源上留有照明通孔；拍摄组件，安装于所述照明组件上方，所述拍摄组件包括反光板、固定在所述反光板上的反光板固定件，所述反光板上连接有反射镜，所述反射镜一侧依次对应设置有镜头以及相机，所述反光板上开设有晶圆图像通孔，所述晶圆图像通孔与所述照明通孔连通设置，以形成晶圆图像通道；导向轴，本实用新型解决了现有技术中光源在照亮晶圆时，容易出现晶圆照亮不均匀的情况，使得拍摄出的晶圆图像有较多阴影，影响晶圆图像的质量的问题。
一种光源设备

[实用新型]一种检测装置-CN202221876601.5有效
发明人：佟杰;郭青杨;李瑞青;周尧;马铁中 -专利权人： 北京昂坤半导体设备有限公司
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型提供一种检测装置，包括支撑组件，第一驱动滑台，设置在支撑组件上，滑动组件，设置在第一驱动滑台上，第一驱动滑台用于驱动滑动组件进行移动，载物台，设置在滑动组件上，承载组件，设置在载物台上，纵向驱动组件，设置在支撑组件上方，若干组上检测探头和若干组下检测探头，均用于对晶圆进行检测，上检测探头设置在纵向驱动组件上，纵向驱动组件用于驱动上检测探头纵向移动，下检测探头设置在载物台内。本实用新型中的检测装置能够解决现有技术中检测装置采用单探头检测不仅效率低下，而且在检测时容易产生检测死角的问题。
一种检测装置

[实用新型]光学检测设备-CN202221329848.5有效
发明人：李瑞青;马铁中;李心怡;胡文韬 -专利权人：昂坤视觉（北京）科技有限公司;北京昂坤半导体设备有限公司
申请日： 2022-05-30 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：一种光学检测设备，包括：物镜；第一镜头组件；第二镜头组件；分光组件，连接于物镜、第一镜头组件及第二镜头组件；明场照明组件，连接于第一镜头组件并用于发出明场光源，明场光源的光束经第一镜头组件、分光组件及物镜后出射至待检测物上以形成明场照明光路；暗场照明组件，用于发出暗场光源，暗场光源的光束从物镜外部出射至待检测物上以形成暗场照明光路；通过分光组件将暗场光源下物镜所得的图像和明场光源下物镜所得的图像分别成像至第二镜头组件和第一镜头组件中，并由第二镜头组件和第一镜头组件进行二次成像。本实施例在同一个设备同时实现明场和暗场的检测，提高晶圆的缺陷检出率及检测效率。
光学检测设备

[实用新型]一种载物台-CN202221876602.X有效
发明人：佟杰;郭青杨;周尧;马铁中 -专利权人： 北京昂坤半导体设备有限公司
申请日： 2022-07-20 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： B25H1/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种载物台，包括底座，承接部设置在底座上，载台设置在承接部上，环形支撑部设置在载台上，环形支撑部包括设置在载台上的支撑板，支撑板上设有若干组直径不同的通孔和设于通孔内壁的承载件，承载件用于承载晶圆，承接部包括驱动滑台，驱动滑台设置在底座上，驱动滑台上设置有滑动组件，驱动滑台用于驱动滑动组件进行滑动，滑动组件包括第一滑台和第二滑台，第一滑台滑动设置在驱动滑台上，第二滑台滑动设置在第一滑台上，第一滑台滑动方向与第二滑台滑动方向相互垂直。本实用新型中的载物台，解决了现有技术中，在需要对晶圆进行检测时，需要不同尺寸的载物台承载不同尺寸的晶圆。
一种载物台

[实用新型]一种光学检测设备-CN202221199790.7有效
发明人：马铁中;王林梓;苏永鹏;周尧;张立芳;程广真;赵政朋 -专利权人：昂坤视觉（北京）科技有限公司;北京昂坤半导体设备有限公司
申请日： 2022-05-18 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种光学检测设备，用于检测晶圆表面缺陷；所述光学检测设备包括支架组件、载台、第一主检镜头、第二主检镜头、载台驱动单元、成像分析单元，第一主检镜头的摄像端朝向第二主检镜头的摄像端，且第一主检镜头的摄像端与第二主检镜头的摄像端沿垂直于载台的支撑面的方向设置，载台的支撑面具有透光结构；当载台驱动单元驱动载台沿其支撑面所在平面的x方向和/或y方向移动，通过承载待检测晶圆的载台在相对应设置的第一主检镜头、第二主检镜头之间，以实现对待检测晶圆的正反两面同时进行检测，且保证对待检测晶圆的正面检测结果和背面检测结果完全对应，达到简化检测流程，提高晶圆的缺陷检出率及检测效率的目的。
一种光学检测设备

[发明专利]光学检测设备-CN202210598897.7在审
发明人：李瑞青;马铁中;李心怡;胡文韬 -专利权人：昂坤视觉（北京）科技有限公司;北京昂坤半导体设备有限公司
申请日： 2022-05-30 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：一种光学检测设备，包括：物镜；第一镜头组件；第二镜头组件；分光组件，连接于物镜、第一镜头组件及第二镜头组件；明场照明组件，连接于第一镜头组件并用于发出明场光源，明场光源的光束经第一镜头组件、分光组件及物镜后出射至待检测物上以形成明场照明光路；暗场照明组件，用于发出暗场光源，暗场光源的光束从物镜外部出射至待检测物上以形成暗场照明光路；通过分光组件将暗场光源下物镜所得的图像和明场光源下物镜所得的图像分别成像至第二镜头组件和第一镜头组件中，并由第二镜头组件和第一镜头组件进行二次成像。本实施例在同一个设备同时实现明场和暗场的检测，提高晶圆的缺陷检出率及检测效率。
光学检测设备

[发明专利]一种光学检测设备-CN202210542304.5在审
发明人：马铁中;王林梓;苏永鹏;周尧;张立芳;程广真;赵政朋 -专利权人：昂坤视觉（北京）科技有限公司;北京昂坤半导体设备有限公司
申请日： 2022-05-18 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： G01N21/88 文献下载
摘要：本发明提供了一种光学检测设备，用于检测晶圆表面缺陷；所述光学检测设备包括支架组件、载台、第一主检镜头、第二主检镜头、载台驱动单元、成像分析单元，第一主检镜头的摄像端朝向第二主检镜头的摄像端，且第一主检镜头的摄像端与第二主检镜头的摄像端沿垂直于载台的支撑面的方向设置，载台的支撑面具有透光结构；当载台驱动单元驱动载台沿其支撑面所在平面的x方向和/或y方向移动，通过承载待检测晶圆的载台在相对应设置的第一主检镜头、第二主检镜头之间，以实现对待检测晶圆的正反两面同时进行检测，且保证对待检测晶圆的正面检测结果和背面检测结果完全对应，达到简化检测流程，提高晶圆的缺陷检出率及检测效率的目的。
一种光学检测设备

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