[实用新型]承载槽清洗装置有效
| 申请号: | 202221690438.3 | 申请日: | 2022-06-30 |
| 公开(公告)号: | CN217451373U | 公开(公告)日: | 2022-09-20 |
| 发明(设计)人: | 马科宁 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号: | B08B9/34 | 分类号: | B08B9/34;B08B13/00;F26B21/00 |
| 代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 张蓉 |
| 地址: | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 承载 清洗 装置 | ||
1.一种承载槽清洗装置,其特征在于,包括固定结构、排液结构、清洗结构和风干结构;
所述固定结构包括固定基台,以及设置于所述固定基台上的固定柱;
所述排液结构包括排液管、过滤槽和离心泵,所述排液管和所述离心泵之间设置有所述过滤槽;
所述清洗结构包括用于向承载槽内喷清洗液的清洗管和与所述清洗管连通的供水结构;
所述风干结构包括用于向承载槽提供惰性气体的进气管和与所述进气管连通的供气结构。
2.根据权利要求1所述的承载槽清洗装置,其特征在于,还包括:
固定基板,所述固定基板与所述固定基台相垂直设置;
盖板,沿第一方向可移动的设置于所述固定基板上,所述盖板上设置有供所述排液管和所述清洗管穿过的通孔,所述第一方向为垂直于所述固定基台的方向。
3.根据权利要求2所述的承载槽清洗装置,其特征在于,所述盖板包括第一子盖板和第二子盖板,所述第一子盖板上设置有供所述清洗管穿过的第一通孔,所述第二子盖板上设置有供所述排液管穿过的第二通孔,所述固定基板上设置有用于分别控制所述第一子盖板和所述第二子盖板在所述第一方向上移动的升降结构。
4.根据权利要求2所述的承载槽清洗装置,其特征在于,还包括移动结构,用于控制所述固定基板在垂直于所述第一方向的第二方向移动,以带动所述排液管和所述清洗管在所述第二方向上移动。
5.根据权利要求4所述的承载槽清洗装置,其特征在于,所述移动结构包括沿所述第二方向延伸设置于所述固定基板上的齿条,所述齿条通过齿轮与驱动电机连接。
6.根据权利要求3所述的承载槽清洗装置,其特征在于,所述清洗管包括多个相交替连接的直管部分和弯管部分,所述清洗管位于所述第一通孔远离所述固定基台的部分的直径大于所述清洗管位于所述第一通孔靠近所述固定基板的部分的直径。
7.根据权利要求6所述的承载槽清洗装置,其特征在于,所述清洗管位于所述第一通孔远离所述固定基台的部分包括第一子部分和第二子部分,所述第一子部分和所述第二子部分之间通过旋转接头连接;
所述清洗结构还包括旋转驱动部和与所述第二子部分传动连接的传动带,所述旋转驱动部控制所述传动带旋转,从而带动所述第二子部分旋转。
8.根据权利要求6所述的承载槽清洗装置,其特征在于,所述清洗管靠近所述固定基台的一端设置有雾化喷头。
9.根据权利要求3所述的承载槽清洗装置,其特征在于,所述排液管包括多个相交替连接的直管部分和弯管部分,所述排液管位于所述第二通孔远离所述固定基台的部分的直径大于所述清洗管位于所述第二通孔靠近所述固定基板的部分的直径。
10.根据权利要求2所述的承载槽清洗装置,其特征在于,还包括进液结构,包括用于向所述承载槽内提供纯水的进液管,和与所述进液管连通的纯水提供结构。
11.根据权利要求1所述的承载槽清洗装置,其特征在于,所述固定基台上设置有用于感应所述承载槽的传感器。
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