[实用新型]一种自动测量磨削后单晶边长的装置

说明书

本实用新型提供一种自动测量磨削后单晶边长的装置，包括检测台、第一驱动装置、机械臂、探针组件，所述检测台用于放置所述待测单晶，所述测量装置对称设置在所述检测台两侧，所述第一驱动装置一端与所述检测台一侧连接，另外一端上方设有立柱，所述第一驱动装置可带动所述立柱水平移动，所述机械臂设置在所述立柱靠近所述检测台的一侧，所述探针组件设置在所述机械臂远离所述立柱的一端。本实用新型的有益效果是提高了磨削后单晶边长的测量精度，提升了工作效率。

技术领域

本实用新型属于太阳能单晶检测领域，尤其是涉及一种自动测量磨削后单晶边长的装置。

背景技术

在太阳能单晶硅片制造过程中，需要将单晶硅棒磨削切方。磨削完成后，需要对磨削后的单晶进行边长检验。在现有技术中，操作人员使用游标卡尺对磨削后的单晶进行检测，测量误差大，精度不准确，无法保证后续的生产，且人工测量速度缓慢，工作效率较低。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种自动测量磨削后单晶边长的装置，有效的解决了人工测量误差大，工作效率低的问题，克服了现有技术的不足。

本实用新型采用的技术方案是：一种自动测量磨削后单晶边长的装置，包括：

检测台，用于放置所述待测单晶，所述测量装置对称设置在所述检测台两侧；

第一驱动装置，一端与所述检测台一侧连接，另外一端上方设有立柱，所述第一驱动装置可带动所述立柱水平移动；

机械臂，设置在所述立柱靠近所述检测台的一侧；

探针组件，设置在所述机械臂远离所述立柱的一端。

进一步，所述机械臂上设有第一传感器，用于测量所述探针组件的水平移动距离，所述检测台侧面为所述第一传感器的感应面。

进一步，所述机械臂靠近所述立柱的一端设有第二驱动装置，所述第二驱动装置可带动所述机械臂水平移动。

进一步，所述第一驱动装置和第二驱动装置为气缸或者电动伸缩杆。

进一步，所述探针组件包括探针和第二传感器，所述探针水平放置在所述机械臂远离所述立柱的一端，所述第二传感器设置在所述探针远离所述检测台的一端，所述探针可沿水平方向收缩，所述第二传感器用来测量所述探针的收缩距离。

进一步，所述探针包括底座和针棒，所述底座设置在所述械臂远离所述立柱的一端，所述针棒水平设置在所述底座靠近所述待测单晶的一端，且与所述底座间隙配合，所述针棒可沿所述底座水平移动，所述底座另外一端设置所述第二传感器。

进一步，所述针棒远离所述待测单晶的一端设有顶板，所述顶板与所述底座之间设有弹簧，所述顶板侧面为所述第二传感器的感应面。

进一步，所述针棒靠近所述待测单晶的一端为圆弧状。

进一步，所述探针组件包括三个探针和三个第二传感器，所述三个探针水平放置，竖直排列在所述机械臂远离所述立柱的一端，所述三个传感器分别设置在所述三个探针远离所述检测台的一端。

本实用新型具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，提高了磨削后单晶边长的测量精度，提升了工作效率。

附图说明

图1是本实用新型实施例一种自动测量磨削后单晶边长的装置的整体结构示意图。

图2是本实用新型实施例一种自动测量磨削后单晶边长的装置的探针结构示意图。

图中：

1、检测台 2、第一气缸 3、立柱

4、第二气缸 5、机械臂 6、探针