[实用新型]一种自动测量磨削后单晶边长的装置

权利要求书

1.一种自动测量磨削后单晶边长的装置，对称设置在待测单晶两侧，其特征在于，包括：

检测台，用于放置所述待测单晶；

第一驱动装置，一端与所述检测台一侧连接，另外一端上方设有立柱，所述第一驱动装置可带动所述立柱水平移动；

机械臂，设置在所述立柱靠近所述检测台的一侧；

探针组件，设置在所述机械臂远离所述立柱的一端。

2.根据权利要求1所述的一种自动测量磨削后单晶边长的装置，其特征在于：所述机械臂上设有第一传感器，用于测量所述探针组件的水平移动距离，所述检测台侧面为所述第一传感器的感应面。

3.根据权利要求1所述的一种自动测量磨削后单晶边长的装置，其特征在于：所述机械臂靠近所述立柱的一端设有第二驱动装置，所述第二驱动装置可带动所述机械臂水平移动。

4.根据权利要求3所述的一种自动测量磨削后单晶边长的装置，其特征在于：所述第一驱动装置和第二驱动装置为气缸或者电动伸缩杆。

5.根据权利要求1所述的一种自动测量磨削后单晶边长的装置，其特征在于：所述探针组件包括探针和第二传感器，所述探针水平放置在所述机械臂远离所述立柱的一端，所述第二传感器设置在所述探针远离所述检测台的一端，所述探针可沿水平方向收缩，所述第二传感器用来测量所述探针的收缩距离。

6.根据权利要求5所述的一种自动测量磨削后单晶边长的装置，其特征在于：所述探针包括底座和针棒，所述底座设置在所述械臂远离所述立柱的一端，所述针棒水平设置在所述底座靠近所述待测单晶的一端，且与所述底座间隙配合，所述针棒可沿所述底座水平移动，所述底座另外一端设置所述第二传感器。

7.根据权利要求6所述的一种自动测量磨削后单晶边长的装置，其特征在于：所述针棒远离所述待测单晶的一端设有顶板，所述顶板与所述底座之间设有弹簧，所述顶板侧面为所述第二传感器的感应面。

8.根据权利要求7所述的一种自动测量磨削后单晶边长的装置，其特征在于：所述针棒靠近所述待测单晶的一端为圆弧状。

9.根据权利要求1所述的一种自动测量磨削后单晶边长的装置，其特征在于：所述探针组件包括三个探针和三个第二传感器，所述三个探针水平放置，竖直排列在所述机械臂远离所述立柱的一端，所述三个传感器分别设置在所述三个探针远离所述检测台的一端。