[实用新型]减震门阀以及工艺腔

说明书

本实用新型提供一种减震门阀以及工艺腔。所述减震门阀包括框架、设置在所述框架上的阀体以及用于驱动阀体移动而实现开关门阀的驱动模块，所述驱动模块通过驱动连接在所述框架上的主转轴旋转从而带动阀体转动，主转轴一端设置有止动板，所述减震门阀还包括用于阻止所述止动板转动超出预定位置的止动件，所述止动件为液压缓冲器。本实用新型能减轻门阀关闭时产生的震动及其产生的粉尘。

技术领域

本实用新型涉及等离子体处理设备，特别涉及其减震门阀以及工艺腔。

背景技术

薄膜/晶硅异质结太阳能电池(以下简称异质结太阳能电池，又可称HIT或HJT或SHJ太阳能电池)属于第三代高效太阳能电池技术，它结合了晶体硅与硅薄膜的优势，具有转换效率高、温度系数低等特点，将会逐步替代PERC(Passivated Emitterand Rear Cell)电池，成为光伏电池的主流。

异质结太阳能电池制造过程中将会用到诸如等离子增强化学气相沉积(PECVD)设备、物理气相沉积(PVD)设备等真空镀膜设备。在PECVD设备中沉积形成异质结太阳能电池的核心发电层非晶硅/微晶硅层，在PVD设备中沉积形成异质结太阳能电池的透明导电层ITO层。

在真空状态下，托盘进入真空镀膜设备的工艺腔后，需要通过旋转门阀关闭工艺腔，进而向其中输入工艺气体，因工艺气体会产生粉尘并沉积在旋转门阀密封面上，对门阀的限位为硬限位，当门阀关闭时，会直接碰撞在在工艺腔开口侧壁，产生冲击，导致粉尘从门阀脱落掉在硅片上。

因此，如何提供一种减震门阀，以减小门阀关闭时的碰撞冲击，已成为业内亟待解决的技术问题。

实用新型内容

针对现有技术的上述问题，本实用新型提出了一种减震门阀，其包括框架、设置在所述框架上的阀体以及用于驱动阀体移动而实现开关门阀的驱动模块，所述驱动模块通过驱动连接在所述框架上的主转轴旋转从而带动阀体转动，其特征在于，主转轴一端设置有止动板，所述减震门阀还包括用于阻止所述止动板转动超出预定位置的止动件，所述止动件为液压缓冲器。

在一实施例中，所述框架为包括依次铰接的机架、第一连架杆、连杆以及第二连架杆的四连杆结构。

在一实施例中，所述机架两侧分别连接主转轴以及从转轴，所述第一连架杆以及第二连架杆分别铰接在所述主转轴以及从转轴上。

在一实施例中，所述阀体设置在与机架相对的连杆上。

在一实施例中，所述驱动模块包括气缸，所述主转轴对应所述气缸设置有摆臂，所述气缸在驱动罩中通过驱动所述摆臂来驱动所述主转轴转动。

在一实施例中，所述主转轴穿过所述驱动罩，所述止动件以及所述止动板均设置在驱动罩的外侧壁上。

在一实施例中，所述液压缓冲器包括受撞头以及用于容纳受撞头行进的定位停止螺帽，所述受撞头完全进入定位停止螺帽时，所述止动板转动至所述预定位置。

本实用新型还提供一种工艺腔，其包括阀口以及如上任一所述的减震门阀，所述减震门阀的所述阀体与所述阀口相匹配，所述减震门阀的所述驱动模块驱动所述阀体封堵或离开所述阀口。

在一实施例中，所述阀口的长度为1-2m，其宽度为5-10cm。

与现有技术中门阀的限位为硬限位易导致粉尘落到硅片上相比，本实用新型的减震门阀包括框架、设置在所述框架上的阀体以及用于驱动阀体移动而实现开关门阀的驱动模块，所述驱动模块通过驱动连接在所述框架上的主转轴旋转从而带动阀体转动，主转轴一端设置有止动板，所述减震门阀还包括用于阻止所述止动板转动超出预定位置的止动件，所述止动件为液压缓冲器。本实用新型能减轻门阀关闭时产生的震动及其产生的粉尘。

附图说明