[实用新型]一种曝光机曝光对准平台运行监测系统

权利要求书

1.一种曝光机曝光对准平台运行监测系统，包括曝光对准平台(1)，带动曝光对准平台(1)水平运动的驱动丝杆(2)；其特征在于：所述驱动丝杆(2)的竖直方向上设置有监测丝杆纵向变形量及磨损量的纵向监测千分表(3)，所述驱动丝杆(2)的水平方向上设置有监测丝杆横向变形量及磨损量的横向监测千分表(7)；所述纵向监测千分表(3)和横向监测千分表(7)连接设置有数据读取装置(4)，所述数据读取装置(4)通讯信号连接设置有远程终端(5)；所述远程终端(5)内设置有接收数据读取装置(4)发出的数据信号的信号接收模块(51)，将信号接收模块(51)获得的数据与设定值进行比对的数据处理模块(52)，所述远程终端(5)还连接设置有警报装置(6)，数据处理模块(52)根据比对的结果控制警报装置(6)工作。

2.如权利要求1所述的曝光机曝光对准平台运行监测系统，其特征在于：所述纵向监测千分表(3)和横向监测千分表(7)为数显千分表，还设置有千分表安装支架(8)，所述千分表安装支架(8)与曝光对准平台(1)固定连接，随曝光对准平台(1)一起移动。

3.如权利要求1所述的曝光机曝光对准平台运行监测系统，其特征在于：所述警报装置(6)同时设置在曝光机边上和远程终端(5)上。

4.如权利要求3所述的曝光机曝光对准平台运行监测系统，其特征在于：所述警报装置(6)包括蜂鸣器(61)和发光装置(62)。