[实用新型]源瓶冷却设备及源瓶冷却系统有效

专利信息
申请号: 202220986453.6 申请日: 2022-04-27
公开(公告)号: CN217083048U 公开(公告)日: 2022-07-29
发明(设计)人: 潘笑星;王立江;李伟;王庆云 申请(专利权)人: 吉林华微电子股份有限公司
主分类号: F25D17/02 分类号: F25D17/02;F25D23/06;F25D29/00
代理公司: 成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 51310 代理人: 唐维虎
地址: 132000 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要:
搜索关键词: 冷却 设备 冷却系统
【权利要求书】:

1.一种源瓶冷却设备,其特征在于,所述源瓶冷却设备包括用于容纳源瓶的箱体,所述箱体包括箱底和箱顶,所述箱顶设置有供所述源瓶进出的开口;

所述箱体还包括两层箱壳以及位于所述两层箱壳之间的冷却管路,所述冷却管路沿着所述箱体的侧壁方向螺旋缠绕,以通过流经所述冷却管路中的冷却液对容纳在所述源瓶冷却设备中的源瓶进行降温。

2.如权利要求1所述的源瓶冷却设备,其特征在于,所述箱体还包括沿所述箱底朝向所述箱顶方向开设的源瓶容量观测窗口;

所述源瓶容量观测窗口由开设在所述箱底朝向所述箱顶方向的开孔以及嵌设在所述开孔中的透明隔热挡板组成。

3.如权利要求1所述的源瓶冷却设备,其特征在于,所述源瓶冷却设备还包括仪表安装区,所述仪表安装区位于所述箱体上;

所述源瓶冷却设备还包括温度显示仪表以及测温热偶,所述温度显示仪表安装在所述仪表安装区,所述温度显示仪表与所述测温热偶连接,所述测温热偶用于测量所述源瓶的内部温度。

4.如权利要求1所述的源瓶冷却设备,其特征在于,所述源瓶冷却设备还包括流量调节阀;

所述冷却管路还包括位于所述箱体外的进水接头与出水接头,其中,所述进水接头距所述箱底的高度大于所述出水接头距所述箱底的高度;

所述流量调节阀设置在所述进水接头位置处,所述流量调节阀用于调节所述冷却管路中冷却液的流速。

5.如权利要求1所述的源瓶冷却设备,其特征在于,所述源瓶冷却设备还包括用于调平所述箱体的多个地脚;

所述多个地脚设置在所述箱底,所述多个地脚不同线且所述多个地脚围合成图案的几何中心与所述箱底的几何中心重合。

6.如权利要求1-5中任意一项所述的源瓶冷却设备,其特征在于,所述箱体采用不锈钢制作而成;

所述冷却管路为铜管,所述冷却管路的孔径为1/8~5/8英寸。

7.一种源瓶冷却系统,其特征在于,所述源瓶冷却系统包括源瓶冷却设备及源瓶;

所述源瓶冷却设备包括箱体,所述箱体包括箱底和箱顶,所述箱顶设置有开口;

所述箱体还包括两层箱壳以及位于所述两层箱壳之间的冷却管路,所述冷却管路沿着所述箱体的侧壁方向螺旋缠绕;

所述源瓶通过所述开口放置并容纳在所述箱体内,或通过所述开口从所述箱体内取出,所述源瓶冷却设备通过流经所述冷却管路中的冷却液对容纳在所述源瓶冷却设备中的源瓶进行降温。

8.如权利要求7所述的源瓶冷却系统,其特征在于,所述源瓶为三氯乙烯源瓶,所述源瓶包括热偶插孔;

所述源瓶冷却设备还包括仪表安装区,所述仪表安装区固定在所述箱体上;

所述源瓶冷却设备还包括温度显示仪表以及测温热偶,所述温度显示仪表安装在所述仪表安装区,所述温度显示仪表与所述测温热偶连接,所述测温热偶插入所述热偶插孔用于测量所述源瓶中三氯乙烯的温度。

9.如权利要求8所述的源瓶冷却系统,其特征在于,

所述冷却管路还包括位于所述箱体外的进水接头与出水接头,其中,所述进水接头距所述箱底的高度大于所述出水接头距所述箱底的高度;

所述源瓶冷却设备还包括流量调节阀,所述流量调节阀设置在所述进水接头位置处;

所述源瓶冷却系统还包括控制单元,所述控制单元分别与所述温度显示仪表及所述流量调节阀连接,所述控制单元根据所述温度显示仪表中显示的温度控制所述流量调节阀调节所述冷却管路中冷却液的流速。

10.如权利要求8所述的源瓶冷却系统,其特征在于,所述箱体采用不锈钢制作而成;

所述冷却管路为铜管,所述冷却管路的孔径为1/8~5/8英寸。

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