[实用新型]一种用于多规格晶圆吸附的静电吸盘

权利要求书

1.一种用于多规格晶圆吸附的静电吸盘，其特征在于：包括依次设置的绝缘基板、静电电极层和电介质层；所述静电电极层上设有2n个静电电极区域，所有静电电极区域从静电电极层的中心向边缘依次排列；所述电介质层上设有n个电介质层区域，所有电介质层区域从电介质的中心向边缘依次排列；其中，n为正整数。

2.根据权利要求1所述的用于多规格晶圆吸附的静电吸盘，其特征在于：位于静电电极层中心的静电电极区域呈圆形，计为第1个静电电极区域；其余静电电极区域呈环形依次向静电电极层的边缘排列，由内向外依次计为第2个、第3个……第2n个静电电极区域。

3.根据权利要求2所述的用于多规格晶圆吸附的静电吸盘，其特征在于：位于电介质层中心的电介质层区域呈圆形，计为第1个电介质层区域；其余电介质层区域呈环形依次向电介质层的边缘排列，由内向外依次计为第2个、第3个……第n个电介质层区域。

4.根据权利要求3所述的用于多规格晶圆吸附的静电吸盘，其特征在于：静电电极层中，第m个静电电极区域和第m+1个静电电极区域构成一组，即第k组静电电极区域；其中，m为正奇数，k＝(m+1)/2，k≤n。

5.根据权利要求4所述的用于多规格晶圆吸附的静电吸盘，其特征在于：电介质层中的第k个电介质层区域对应于静电电极层的第k组静电电极区域。

6.根据权利要求5所述的用于多规格晶圆吸附的静电吸盘，其特征在于：相邻的电介质层区域之间设有隔离结构。

7.根据权利要求6所述的用于多规格晶圆吸附的静电吸盘，其特征在于：当用于晶圆吸附时，位于晶圆规格范围内的所有静电电极区域通电，位于晶圆规格范围外的所有静电电极区域断电。