[实用新型]一种能自动擦胶的脱胶装置

权利要求书

1.一种能自动擦胶的脱胶装置，其特征在于，包括：

硅片作业线；所述硅片作业线包括脱胶工位和擦胶工位；所述擦胶工位用于放置经脱胶工位进行脱胶之后得到的硅片；

用于识别硅片残胶的图像采集组件，设置于所述擦胶工位的旁侧；

用于对硅片残胶进行擦除的擦胶机械手机构，设置于所述擦胶工位的旁侧。

2.根据权利要求1所述的脱胶装置，其特征在于，所述擦胶机械手机构包括：

擦胶机械手底座；

擦胶机械臂，转动设置于擦胶机械手底座上；所述擦胶机械臂具有至少2个自由度；

擦胶机构，设置于所述擦胶机械臂的工作端。

3.根据权利要求2所述的脱胶装置，其特征在于，所述擦胶机构包括：

滚筒支架，设置于所述擦胶机械臂的工作端；

擦胶滚筒，转动设置于所述滚筒支架上。

4.根据权利要求3所述的脱胶装置，其特征在于，还包括：

光源，设置于所述滚筒支架上，所述光源的光出射方向朝向待擦胶的硅片；

所述图像采集组件设置于所述滚筒支架上。

5.根据权利要求1-4任一项所述的脱胶装置，其特征在于，多个硅片容置于工装篮中，硅片中有残胶的侧边朝上；所述擦胶工位设有设有中转槽，所述工装篮置于所述中转槽内；所述擦胶机械手机构设置于中转槽的旁侧。

6.根据权利要求5所述的脱胶装置，其特征在于，还包括：用于抓取工装篮并驱动工装篮在硅片作业线上移动的输送机械手机构。

7.根据权利要求6所述的脱胶装置，其特征在于，所述输送机械手机构包括：

沿硅片作业线方向延伸的纵向导轨、垂直于硅片作业线方向的横向导轨、沿竖向方向延伸的竖向导轨；

用于抓取工装篮的夹爪组件；

用于驱动夹爪组件沿竖向导轨移动的竖向驱动器；

用于驱动夹爪组件沿横向导轨移动的横向驱动器；

用于驱动夹爪组件沿纵向导轨移动的纵向驱动器。

8.根据权利要求7所述的脱胶装置，其特征在于，所述夹爪组件包括：

工装顶板，与所述竖向驱动器相连；

工装篮夹爪，设置于所述工装顶板的底面；所述工装篮夹爪沿竖向方向延伸，其底端反向弯折形成钩状结构，用于钩挂工装篮。

9.根据权利要求6所述的脱胶装置，其特征在于，还包括：晶托回收线，与硅片作业线并排设置；

所述输送机械手机构还设有晶托夹爪，用于夹持位于擦胶工位的晶托组件并运送至晶托回收线。

10.根据权利要求9所述的脱胶装置，其特征在于，所述晶托夹爪包括：夹爪本体及用于驱动夹爪本体沿横向移动的夹爪驱动器。