[实用新型]一种基于单面抛光机的带压力传感器的上磨机构

权利要求书

1.一种基于单面抛光机的带压力传感器的上磨机构，其特征在于，包括上方的气缸活塞组件、下方的转轴组件、套设在转轴组件末端的轴承座组件、安装在轴承座组件底部与下方下磨盘(11)配合的上磨盘组件、安装在上磨盘组件下方的用于安装晶片(12)的料盘，所述气缸活塞组件和转轴组件之间设置有实时检测压力的压力传感组件(3)。

2.根据权利要求1所述的一种基于单面抛光机的带压力传感器的上磨机构，其特征在于，所述压力传感组件(3)为压力传感器，所述压力传感器包括传感器主体(3-2)和与传感器主体(3-2)连接的数据传输线(3-5)，所述传感器主体(3-2)上下分别与气缸活塞组件和转轴组件通过可拆卸的方式连接。

3.根据权利要求2所述的一种基于单面抛光机的带压力传感器的上磨机构，其特征在于，所述传感器主体(3-2)上方设置有与气缸活塞组件底部螺纹配合的上螺纹杆(3-4)，所述传感器主体(3-2)下方设置有与转轴组件顶部螺纹配合的下螺纹杆(3-1)，所述上螺纹杆(3-4)和下螺纹杆(3-1)上均设置有压紧垫圈(3-3)。

4.根据权利要求1所述的一种基于单面抛光机的带压力传感器的上磨机构，其特征在于，所述气缸活塞组件包括上方的活塞杆(1)和设置在活塞杆(1)下方的连接座(2)。

5.根据权利要求1所述的一种基于单面抛光机的带压力传感器的上磨机构，其特征在于，所述转轴组件包括转动轴(5)、设置在转动轴(5)顶部的连接法兰盘(4)，所述连接法兰盘(4)上设置有有圆盘状支撑板(8)，所述圆盘状支撑板(8)上可拆卸设置有防止抛光液飞溅的风琴罩(7)。

6.根据权利要求5所述的一种基于单面抛光机的带压力传感器的上磨机构，其特征在于，所述轴承座组件包括套设在转动轴(5)上的轴承(6)和套设置在轴承(6)外侧的轴承座(9)。

7.根据权利要求1所述的一种基于单面抛光机的带压力传感器的上磨机构，其特征在于，所述上磨盘组件包括磨盘安装座(10)和安装在磨盘安装座(10)上的上磨盘，料盘安装在上磨盘上。