[实用新型]用于薄膜镀铜的刷镀装置有效
申请号: | 202220713040.0 | 申请日: | 2022-03-29 |
公开(公告)号: | CN217052445U | 公开(公告)日: | 2022-07-26 |
发明(设计)人: | 刘国春;周高阳;李学法;张国平 | 申请(专利权)人: | 江阴纳力新材料科技有限公司 |
主分类号: | C25D5/06 | 分类号: | C25D5/06;C25D3/38;C25D17/00;C25D17/10 |
代理公司: | 苏州汇诚汇智专利代理事务所(普通合伙) 32623 | 代理人: | 顾品荧 |
地址: | 214446 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 薄膜 镀铜 装置 | ||
本实用新型公开了一种用于薄膜镀铜的刷镀装置,包括循环供液组件、阳极刷镀组件、阴极导电辊组件及电源组件;循环供液组件包括位于阳极刷镀组件下方的镀液槽,镀液槽通过管道与阳极刷镀组件连接;阳极刷镀组件包括错位设置的阳极上刷镀部、阳极下刷镀部,阳极上刷镀部、阳极下刷镀部之间限定形成刷镀间隙;阴极导电辊组件包括位于镀液槽外侧且分别与阳极上刷镀部、阳极下刷镀部对应的阴极上导电辊、阴极下导电辊;电源组件包括两个外接电源,一个外接电源用于导通阳极上刷镀部、阴极上导电辊,另一个外接电源用于导通阳极下刷镀部、阴极下导电辊。本刷镀装置能有效避免阴极辊被镀铜现象,进而改善镀膜上烧孔、刺孔、断膜的问题,提高成品率。
技术领域
本实用新型涉及电镀设备技术领域,尤其涉及一种用于薄膜镀铜的刷镀装置。
背景技术
目前在对塑料薄膜表面进行双面镀铜时,常采用磁控或蒸镀加电镀工艺,其加工难点主要集中在磁控或蒸镀后的镀膜在电镀过程中,由于镀膜表面携带的镀液,导致镀膜与阴极辊接触时,镀液会接触到阴极辊,进而造成镀液与阴极辊发生电镀反应,使得阴极辊上被镀铜,而被镀铜的部位极有可能刺破镀膜,造成镀膜产生烧孔、刺孔、断膜等缺陷,导致成品率低。
实用新型内容
为克服上述缺点,本实用新型的目的在于提供一种用于薄膜镀铜的刷镀装置,能有效避免阴极辊被镀铜现象,进而改善镀膜上烧孔、刺孔、断膜的问题,提高成品率。
为了达到以上目的,本实用新型采用的技术方案是:一种用于薄膜镀铜的刷镀装置,包括循环供液组件、阳极刷镀组件、阴极导电辊组件及电源组件;循环供液组件用以向阳极刷镀组件提供镀液,其包括位于阳极刷镀组件下方的镀液槽,镀液槽通过管道与阳极刷镀组件连接;阳极刷镀组件包括错位设置且呈上下分布的阳极上刷镀部、阳极下刷镀部,阳极上刷镀部、阳极下刷镀部之间限定形成供薄膜通过的刷镀间隙;阴极导电辊组件包括位于镀液槽外侧且分别与阳极上刷镀部、阳极下刷镀部对应的阴极上导电辊、阴极下导电辊;电源组件包括两个外接电源,一个外接电源用于导通阳极上刷镀部、阴极上导电辊,另一个外接电源用于导通阳极下刷镀部、阴极下导电辊。
本实用新型的有益效果在于:
通过电源组件接通阳极刷镀组件、阴极导电辊组件以使阳极刷镀组件、阴极导电辊组件、薄膜之间能形成回路,且通过管道将镀液槽与阳极刷镀组件的连接,以使镀液槽内的镀液能直接输送至阳极刷镀组件上,进而使得途经阳极刷镀间隙的薄膜能在阳极刷镀组件的刷镀下完成镀铜操作;将阴极上导电辊、阴极下导电辊布置在镀液槽外侧,能避免阴极导电辊组件直接接触到镀液槽内的镀液,而且镀铜操作集中在刷镀组件工作区域内进行,进而有效避免了阴极导电辊组件被镀铜的问题,进而改善了镀膜上烧孔、刺孔、断膜的问题,提高了成品率。
进一步来说,阳极上刷镀部、阳极下刷镀部均包括并排设置的多个阳极刷辊,阳极刷辊包括辊体,辊体上包覆有吸液软包层,当薄膜进入到刷镀间隙时,吸液软包层能滚刷在薄膜上。通过并排设置的多个阳极刷辊能提升镀速和均匀性,以获得结晶细致、连续、均匀的铜膜层;通过吸液软包层吸收镀液以提供刷镀所需的铜离子,并对阳极刷辊表面产生的各种粒子和杂质起到过滤作用;而且镀液还能对阳极刷辊起到冷却作用,减少刷镀过程中的升温。
进一步来说,吸液软包层的厚度为5-10cm,孔隙密度为30-60ppi。
进一步来说,辊体包括固定轴,固定轴的两端通过固定座固接在镀液槽上;固定轴上套装有能转动的转轴,转轴的外壁上包覆有吸液软包层。
进一步来说,转轴的外壁上还电镀有1-5μm厚的铂铱层。
进一步来说,一个固定座上贯穿设置有连接管,连接管的一端与管道连接,另一端伸入到吸液软包层内;吸液软包层靠近连接管的一侧设有用于容置连接管的环槽。通过连接管能将管道内的镀液输送到吸液软包层上,通过在吸液软包层上开设环槽以配合吸液软包层转动刷镀时,为连接管让位,保证镀液的稳定输送。
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