[实用新型]用于薄膜镀铜的刷镀装置

权利要求书

1.一种用于薄膜镀铜的刷镀装置，其特征在于：包括循环供液组件、阳极刷镀组件、阴极导电辊组件及电源组件；

所述循环供液组件用以向所述阳极刷镀组件提供镀液，其包括位于所述阳极刷镀组件下方的镀液槽，所述镀液槽通过管道与所述阳极刷镀组件连接；

所述刷镀组件包括错位设置且呈上下分布的阳极上刷镀部、阳极下刷镀部，所述阳极上刷镀部、阳极下刷镀部之间限定形成供薄膜通过的刷镀间隙；

所述阴极导电辊组件包括位于所述镀液槽外侧且分别与所述阳极上刷镀部、阳极下刷镀部对应设置的阴极上导电辊、阴极下导电辊；

所述电源组件包括两个外接电源，一个所述外接电源用于导通所述阳极上刷镀部、阴极上导电辊，另一个所述外接电源用于导通所述阳极下刷镀部、阴极下导电辊。

2.根据权利要求1所述的刷镀装置，其特征在于：所述阳极上刷镀部、阳极下刷镀部均包括并排设置的多个阳极刷辊，所述阳极刷辊包括辊体，所述辊体上包覆有吸液软包层，当薄膜进入到刷镀间隙时，所述吸液软包层能滚刷在所述薄膜上。

3.根据权利要求2所述的刷镀装置，其特征在于：所述吸液软包层的厚度为5-10cm，孔隙密度为30-60ppi。

4.根据权利要求2所述的刷镀装置，其特征在于：所述辊体包括固定轴，所述固定轴的两端通过固定座固接在所述镀液槽上；所述固定轴上套装有能转动的转轴，所述转轴的外壁上包覆有所述吸液软包层。

5.根据权利要求4所述的刷镀装置，其特征在于：所述转轴的外壁上还电镀有1-5μm厚的铂铱层。

6.根据权利要求4所述的刷镀装置，其特征在于：一个所述固定座上贯穿设置有连接管，所述连接管的一端与管道连接，另一端伸入到所述吸液软包层内；所述吸液软包层靠近连接管的一侧设有用于容置所述连接管的环槽。

7.根据权利要求1-6任一所述的刷镀装置，其特征在于：所述阳极上刷镀部、阴极上导电辊之间还设有一对上下分布的一号截液辊，一对所述一号截液辊之间限定形成供薄膜通过的一号截液通道；所述阳极下刷镀部、阴极下导电辊之间还设有一对上下分布的二号截液辊，一对所述二号截液辊之间限定形成供薄膜通过的二号截液通道。

8.根据权利要求7所述的刷镀装置，其特征在于：所述一号截液辊、二号截液辊均安装在所述镀液槽的上方。