[实用新型]一种用于磷化铟生长高精度温度控制装置有效
| 申请号： | 202220686989.6 | 申请日： | 2022-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN217438345U | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 战泽兴;战泽瑞;蒙奎芝;战先华;喻会平 | 申请（专利权）人： | 山东欧思特新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/40;B01D46/10;B01D53/04;B01D46/88 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 253000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 磷化 生长 高精度 温度 控制 装置 | ||
1.一种用于磷化铟生长高精度温度控制装置，包括排烟组件(1)、壳体(2)、导气管(3)和隔热箱(5)，其特征在于：所述壳体(2)的底部两侧安装有两组脚垫(203)，所述壳体(2)的顶部安装有排烟组件(1)，所述排烟组件(1)内安装有安装罩(101)，所述安装罩(101)内部的顶部安装有轴流风机(106)，所述安装罩(101)的内部外侧安装有插接槽(103)，所述插接槽(103)的内部安装有过滤网板(104)，所述过滤网板(104)的底部安装有废料槽(105)，所述壳体(2)内部的底部两侧安装有电气箱(4)，所述壳体(2)内部的顶部安装有隔热箱(5)，所述隔热箱(5)的正面安装有密封板(504)，所述隔热箱(5)内部的底部两侧安装有支撑架(503)，所述支撑架(503)的顶部安装有固定槽(502)，所述隔热箱(5)的两侧安装有导气管(3)。
2.根据权利要求1所述的一种用于磷化铟生长高精度温度控制装置，其特征在于：所述插接槽(103)的顶部延伸至安装罩(101)的顶部安装有把手(102)，且插接槽(103)的两侧设有排气孔。
3.根据权利要求1所述的一种用于磷化铟生长高精度温度控制装置，其特征在于：所述壳体(2)内部的顶部安装有排气管(201)，且壳体(2)的内部安装有安装板(202)。
4.根据权利要求1所述的一种用于磷化铟生长高精度温度控制装置，其特征在于：所述导气管(3)的一侧安装有导流罩(301)，且导流罩(301)的一侧安装有透气网板(302)。
5.根据权利要求1所述的一种用于磷化铟生长高精度温度控制装置，其特征在于：所述电气箱(4)的内部一侧安装有温控机组(402)，且温控机组(402)的一侧安装有保温管(401)。
6.根据权利要求1所述的一种用于磷化铟生长高精度温度控制装置，其特征在于：所述固定槽(502)的顶部安装有石英槽(501)，且石英槽(501)的外侧安装有石墨烯片。
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