[实用新型]晶圆自动涂源装置

权利要求书

1.晶圆自动涂源装置，包括机架（10）及用于固定晶圆片的晶圆放置盘（11），晶圆放置盘（11）在工作状态下呈旋转状态，其特征在于，还包括

水平滑轨（21），与机架（10）固定相连，其方向平行于晶圆片的半径方向；

水平移动支架（22），与水平滑轨（21）以滑动方式相连；

顶升机构（30），与水平移动支架（22）固定相连；

毛笔连接架（41），与顶升机构（30）相连，并能够在顶升机构（30）的带动下上下运动；

执笔夹（42），与毛笔连接架（41）固定相连；

毛笔（50），与执笔夹（42）固定相连，其前端为刷头（51）；

试剂瓶（60），设置在晶圆放置盘（11）的一侧；

及输送管（70），其与毛笔连接架（41）固定相连，输送管（70）的一端深入试剂瓶（60）内，输送管（70）的另一端伸入毛笔（50）的刷头（51）中并与刷头（51）保持相对固定。

2.根据权利要求1所述的晶圆自动涂源装置，其特征在于，晶圆放置盘（11）外部设置有防护罩（12）。

3.根据权利要求1所述的晶圆自动涂源装置，其特征在于，试剂瓶（60）放置在一磁力搅拌器（61）上。

4.根据权利要求1所述的晶圆自动涂源装置，其特征在于，输送管（70）通过一刚性金属条（43）与毛笔连接架（41）相连。

5.根据权利要求4所述的晶圆自动涂源装置，其特征在于，金属条（43）与毛笔连接架（41）固定相连，金属条（43）的端部延伸至靠近毛笔（50）刷头（51）的位置，输送管（70）与金属条（43）固定相连。

6.根据权利要求1或4或5所述的晶圆自动涂源装置，其特征在于，所述输送管（70）上设置有蠕动泵。

7.根据权利要求1所述的晶圆自动涂源装置，其特征在于，所述顶升机构（30）采用顶升气缸，其伸缩端与毛笔连接架（41）固定相连。