[实用新型]真空镀膜机进料管及真空镀膜机有效

专利信息
申请号: 202220644448.7 申请日: 2022-03-23
公开(公告)号: CN217709656U 公开(公告)日: 2022-11-01
发明(设计)人: 徐志淮 申请(专利权)人: 昆山彰盛奈米科技有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22;C23C16/44;C23C16/455
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 张伟
地址: 215331 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 真空镀膜 进料
【权利要求书】:

1.一种真空镀膜机进料管,其特征在于,包括:进料管本体(100)和锁紧件(200);

所述进料管本体(100)上设置有用于清理所述进料管本体(100)内部的开合部(110),用于锁紧所述开合部(110)的所述锁紧件(200)设置在所述进料管本体(100)上。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机进料管,其特征在于,所述进料管本体(100)包括固定部(120)和开合部(110),所述开合部(110)铰接设置在所述固定部(120)上。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜机进料管,其特征在于,所述固定部(120)和所述开合部(110)两者成对称结构。

4.根据权利要求3所述的真空镀膜机进料管,其特征在于,所述固定部(120)和所述开合部(110)两者均采用半管结构。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜机进料管,其特征在于,所述固定部(120)和所述开合部(110)两者的横截面均呈弧形。

6.根据权利要求5所述的真空镀膜机进料管,其特征在于,所述固定部(120)和所述开合部(110)两者的横截面均呈C形。

7.根据权利要求2所述的真空镀膜机进料管,其特征在于,所述固定部(120)和所述开合部(110)之间设置有密封垫。

8.根据权利要求1-7任一项所述的真空镀膜机进料管,其特征在于,所述锁紧件(200)采用带有魔术贴的约束带。

9.根据权利要求1-7任一项所述的真空镀膜机进料管,其特征在于,所述进料管本体(100)上包裹有加热片(300)。

10.一种真空镀膜机,其特征在于,包括镀膜机本体和权利要求1-9任一项所述的真空镀膜机进料管;

所述真空镀膜机进料管设置在所述镀膜机本体内。

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