[实用新型]真空镀膜机进料管及真空镀膜机有效
申请号: | 202220644448.7 | 申请日: | 2022-03-23 |
公开(公告)号: | CN217709656U | 公开(公告)日: | 2022-11-01 |
发明(设计)人: | 徐志淮 | 申请(专利权)人: | 昆山彰盛奈米科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;C23C16/44;C23C16/455 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 张伟 |
地址: | 215331 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空镀膜 进料 | ||
1.一种真空镀膜机进料管,其特征在于,包括:进料管本体(100)和锁紧件(200);
所述进料管本体(100)上设置有用于清理所述进料管本体(100)内部的开合部(110),用于锁紧所述开合部(110)的所述锁紧件(200)设置在所述进料管本体(100)上。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机进料管,其特征在于,所述进料管本体(100)包括固定部(120)和开合部(110),所述开合部(110)铰接设置在所述固定部(120)上。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜机进料管,其特征在于,所述固定部(120)和所述开合部(110)两者成对称结构。
4.根据权利要求3所述的真空镀膜机进料管,其特征在于,所述固定部(120)和所述开合部(110)两者均采用半管结构。
5.根据权利要求4所述的真空镀膜机进料管,其特征在于,所述固定部(120)和所述开合部(110)两者的横截面均呈弧形。
6.根据权利要求5所述的真空镀膜机进料管,其特征在于,所述固定部(120)和所述开合部(110)两者的横截面均呈C形。
7.根据权利要求2所述的真空镀膜机进料管,其特征在于,所述固定部(120)和所述开合部(110)之间设置有密封垫。
8.根据权利要求1-7任一项所述的真空镀膜机进料管,其特征在于,所述锁紧件(200)采用带有魔术贴的约束带。
9.根据权利要求1-7任一项所述的真空镀膜机进料管,其特征在于,所述进料管本体(100)上包裹有加热片(300)。
10.一种真空镀膜机,其特征在于,包括镀膜机本体和权利要求1-9任一项所述的真空镀膜机进料管;
所述真空镀膜机进料管设置在所述镀膜机本体内。
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