[实用新型]一种方便滤波器晶圆去膜用支撑结构

说明书

本实用新型提供了一种方便滤波器晶圆去膜用支撑结构，其通过对晶圆起支撑作用，使得其去膜时受力更加均匀，提高了生产效率及良品率。其包括支撑盘，所述支撑盘呈环形、且安装于固定晶圆用吸盘的口部，所述支撑盘的外表面设有两个缺口，两个所述缺口的顶点分别与晶圆的切口处的两个角部相对应。

技术领域

本实用新型涉及滤波器晶圆去膜技术领域，具体为一种方便滤波器晶圆去膜用支撑结构。

背景技术

滤波器晶圆在研磨工艺加工过程中，需要先在其正面贴附一层保护膜，贴膜后的晶圆再进行旋转研磨，研磨至目标厚度后，该减薄后的晶圆需要转运至撕膜机去膜。然而由于使用撕膜机撕膜操作时，该晶圆仅通过吸盘吸附固定，由于缺少支撑结构，则滤波器晶圆在撕膜时受力不均，易产生裂纹，这些裂纹缺陷在晶圆上难以用肉眼看清，需要高倍镜下检测才能发现，因而需要将撕膜后的晶圆使用高倍镜进行全检，则导致生产效率及良品率都受到较大影响。

实用新型内容

针对现有的滤波器晶圆在研磨减薄工艺之后采用撕膜机撕膜，由于缺少支撑结构，则使得晶圆易产生裂纹，导致生产效率及良品率产生较大影响的问题，本实用新型提供了一种方便滤波器晶圆去膜用支撑结构，其通过对晶圆起支撑作用，使得其去膜时受力更加均匀，提高了生产效率及良品率。

其技术方案是这样的：一种方便滤波器晶圆去膜用支撑结构，其特征在于：其包括支撑盘，所述支撑盘呈环形、且安装于固定晶圆用吸盘的口部，所述支撑盘的外表面设有两个缺口，两个所述缺口的顶点分别与晶圆的切口处的两个角部相对应。

其进一步特征在于：所述支撑盘的表面对应与所述晶圆接触处设有粘结层，所述粘结层为EGT膜，该粘结层与所述晶圆接触面上有粘性；

所述支撑盘的外周上沿四个方向上切边，切边后的所述支撑盘大小与盛放所述晶圆的料盒口部相适应。

采用了上述结构后，通过在固定晶圆用的吸盘上增设支撑盘，则吸盘吸附晶圆时，该支撑盘对晶圆外周起到支撑作用，从而固定效果更好，使得撕膜时可以受力均匀，同时该支撑盘上还设有两个缺口部，通过缺口部将滤波器晶圆进行定位，从而可以保证晶圆固定时对位准确。

附图说明

图1为滤波器晶圆的截面图；

图2为本实用新型的俯视图；

图中：1、晶圆；2、支撑盘；3、缺口；4、粘结层。

具体实施方式

如图1所示，一种方便滤波器晶圆去膜用支撑结构，包括支撑盘2，支撑盘2采用不锈钢材料制成，且厚度在1.2mm，该支撑盘2呈环形、且安装于固定晶圆用吸盘的口部，支撑盘2的外表面设有两个缺口3，两个缺口3的顶点分别与晶圆的切口处的两个角部相对应。撕膜机撕膜前，将晶圆置于支撑盘2上，通过晶圆上的切口处的两个角部的顶点与支撑盘2两个缺口3的角部的顶点处对应放置后，晶圆位置找准，再通过与吸盘连接的吸真空设备吸真空固定，最后通过外部的撕膜机进行撕膜操作，由于支撑盘2的支撑作用，则使得晶圆在去膜时可以受力均匀，有效防止产生裂纹。

进一步的，支撑盘2的表面对应与晶圆接触处设有粘结层4，粘结层4采用EGT膜，该粘结层4一面粘贴于晶圆表面上，另一面与晶圆接触面上有微粘性，可以进一步防止晶圆串位，固定效果更好。

进一步的，支撑盘2的外周上沿四个方向上均切边，由于切边后的支撑盘2大小与盛放晶圆的料盒口部相适应，从而可以方便从料盒中取放晶圆。

以上，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉该技术的人在本实用新型所揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。