[实用新型]一种芯片外观检测设备

说明书

本实用新型描述了一种芯片外观检测设备，包括：芯片料盘，用于承载待检测的芯片，芯片料盘可沿第一方向滑动；视觉检测模块，用于检测芯片的外观缺陷与放置方向，视觉检测模块设置于芯片料盘上方且可沿第二方向滑动，第一方向和第二方向交叉设置；芯片取放模块，可沿第二方向滑动，芯片取放模块至少包括沿第三方向滑动并以第三方向为轴旋转的取放组件，取放组件用于从芯片料盘中取放芯片或调整芯片朝向，其中，第三方向分别与第一方向和第二方向交叉设置。本实用新型提供的芯片外观检测设备，可以解决目前芯片外观检测过程中出现的人眼漏检导致品质风险高的问题、人眼容易视觉疲劳的问题、检测效率低的问题等。

技术领域

本实用新型涉及芯片测试设备领域，特别是涉及一种芯片外观检测设备。

背景技术

芯片在出货之前需要对芯片进行检测，检测项目包括电性测试、外观检测等。目前CIS芯片测试领域所用到芯片外观检测设备是电子显微镜，芯片外观缺陷需要员工通过显示器显示的芯片外观判断其是否存在外观缺陷，此检测方式员工极易容易眼睛疲劳而出现漏检风险，而且人员检测效率极低，特别出现缺陷芯片后，需要人工操作替换以及补料到料盘，此过程人工操作的效率极低。另外，芯片方向放置错误、混批次等异常，人工操作往往无法精确判断。

基于以上问题，亟需开发桌面型外观检测设备，实现芯片缺陷检测、机器视觉判断芯片方向，使用机械手自动精准挑取不良品芯片，从而提高芯片外观检测效率，减少外观检测人力，降低品质风险。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种芯片外观检测设备，包括：芯片料盘，用于承载待检测的芯片，芯片料盘可沿第一方向滑动；视觉检测模块，用于检测芯片的外观缺陷与放置方向，视觉检测模块设置于芯片料盘上方且可沿第二方向滑动，第一方向和第二方向交叉设置；芯片取放模块，可沿第二方向滑动，芯片取放模块至少包括沿第三方向滑动并以第三方向为轴旋转的取放组件，取放组件用于从芯片料盘中取放芯片或调整芯片朝向，其中，第三方向分别与第一方向和第二方向交叉设置。

可选的，第一方向移动模块和第二方向移动模块；芯片料盘连接于第一方向移动模块，且第一方向移动模块带动芯片料盘沿第一方向滑动；视觉检测模块和芯片取放模块分别连接于第二方向移动模块，且第二方向移动模块带动视觉检测模块和芯片取放模块沿第二方向滑动。

可选的，第一方向移动模块包括芯片料盘连接板、第一滑动件、第一丝杠和第一驱动件，第一丝杠沿第一方向延伸，第一驱动件设置于第一丝杠的一端并驱动第一丝杠旋转，第一滑动件滑动连接于第一丝杠的外表面并可随第一丝杠的旋转而在第一方向上滑动，芯片料盘通过芯片料盘连接板固定连接于第一滑动件。

可选的，第二方向移动模块包括视觉检测模块连接板、芯片取放模块连接板、第二滑动件、第二丝杠、第二驱动件，第二丝杠沿第二方向延伸，第二驱动件设置于第二丝杠的一端并驱动第二丝杠旋转，第二滑动件滑动连接于第二丝杠的外表面并可随第二丝杠的旋转而在第二方向上滑动，视觉检测模块和芯片取放模块分别通过视觉检测模块连接板和芯片取放模块连接板固定连接于第二滑动件。

可选的，视觉检测模块至少包括检测组件，检测组件可沿第三方向调节高度。

可选的，视觉检测模块还包括相机模组固定板，相机模组固定板上设置有沿第三方向排布的固定孔，检测组件包括至少一个连接件，检测组件通过连接件与固定孔卡合来调节高度。

可选的，视觉检测模块包括大光源和小光源，且大光源和小光源固定连接于相机模组固定板，检测组件包括相机，相机穿设于大光源与小光源，检测组件通过在第三方向上调节高度，调节相机与大光源和小光源的相对位置，以改变芯片外观检测时所需要的光源颜色或光源强度。

可选的，视觉检测模块还包括千分尺，千分尺用于调节检测组件在第三方向上的高度。