[实用新型]一种芯片外观检测设备有效

专利信息
申请号: 202220451713.X 申请日: 2022-03-02
公开(公告)号: CN217304946U 公开(公告)日: 2022-08-26
发明(设计)人: 杨建设;张雅凯 申请(专利权)人: 昆山思特威集成电路有限公司
主分类号: G01N21/892 分类号: G01N21/892;B07C5/36
代理公司: 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 代理人: 梁姗
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 外观 检测 设备
【权利要求书】:

1.一种芯片外观检测设备,其特征在于,包括:

芯片料盘,用于承载待检测的芯片,所述芯片料盘可沿第一方向滑动;

视觉检测模块,用于检测所述芯片的外观缺陷与放置方向,所述视觉检测模块设置于所述芯片料盘上方且可沿第二方向滑动,所述第一方向和所述第二方向交叉设置;

芯片取放模块,可沿所述第二方向滑动,所述芯片取放模块至少包括沿第三方向滑动并以所述第三方向为轴旋转的取放组件,所述取放组件用于从所述芯片料盘中取放所述芯片或调整所述芯片朝向,其中,所述第三方向分别与所述第一方向和所述第二方向交叉设置。

2.如权利要求1所述的芯片外观检测设备,其特征在于,还包括:第一方向移动模块和第二方向移动模块;

所述芯片料盘连接于所述第一方向移动模块,且所述第一方向移动模块带动所述芯片料盘沿所述第一方向滑动;

所述视觉检测模块和所述芯片取放模块分别连接于所述第二方向移动模块,且所述第二方向移动模块带动所述视觉检测模块和所述芯片取放模块沿所述第二方向滑动。

3.如权利要求2所述的芯片外观检测设备,其特征在于,所述第一方向移动模块包括芯片料盘连接板、第一滑动件、第一丝杠和第一驱动件,所述第一丝杠沿所述第一方向延伸,所述第一驱动件设置于所述第一丝杠的一端并驱动所述第一丝杠旋转,所述第一滑动件滑动连接于所述第一丝杠的外表面并可随所述第一丝杠的旋转而在所述第一方向上滑动,所述芯片料盘通过所述芯片料盘连接板固定连接于所述第一滑动件。

4.如权利要求2所述的芯片外观检测设备,其特征在于,所述第二方向移动模块包括视觉检测模块连接板、芯片取放模块连接板、第二滑动件、第二丝杠、第二驱动件,所述第二丝杠沿所述第二方向延伸,所述第二驱动件设置于所述第二丝杠的一端并驱动所述第二丝杠旋转,所述第二滑动件滑动连接于所述第二丝杠的外表面并可随所述第二丝杠的旋转而在所述第二方向上滑动,所述视觉检测模块和所述芯片取放模块分别通过所述视觉检测模块连接板和所述芯片取放模块连接板固定连接于所述第二滑动件。

5.如权利要求1所述的芯片外观检测设备,其特征在于,所述视觉检测模块至少包括检测组件,所述检测组件可沿所述第三方向调节高度。

6.如权利要求5所述的芯片外观检测设备,其特征在于,所述视觉检测模块还包括相机模组固定板,所述相机模组固定板上设置有沿所述第三方向排布的固定孔,所述检测组件包括至少一个连接件,所述检测组件通过所述连接件与所述固定孔卡合来调节高度。

7.如权利要求6所述的芯片外观检测设备,其特征在于,所述视觉检测模块包括大光源和小光源,且所述大光源和小光源固定连接于所述相机模组固定板,所述检测组件包括相机,所述相机穿设于所述大光源与所述小光源,所述检测组件通过在所述第三方向上调节高度,调节所述相机与所述大光源和所述小光源的相对位置,以改变芯片外观检测时所需要的光源颜色或光源强度。

8.如权利要求5所述的芯片外观检测设备,其特征在于,所述视觉检测模块还包括千分尺,所述千分尺用于调节所述检测组件在所述第三方向上的高度。

9.如权利要求1所述的芯片外观检测设备,其特征在于,所述芯片取放模块包括第三滑动件、驱动电机、导轨以及吸取组件,所述芯片取放模块接收外部控制中心发出的控制指令以驱动所述驱动电机,所述第三滑动件在所述驱动电机的驱动下沿所述导轨在所述第三方向上滑动或旋转,所述吸取组件固定于所述第三滑动件,且所述吸取组件的一端连接气压变换装置,通过改变所述气压变换装置内的气压,以取放所述芯片料盘中的芯片。

10.如权利要求9所述的芯片外观检测设备,其特征在于,所述芯片取放模块包括升降感应器与旋转感应器,所述升降感应器与所述旋转感应器用于采集所述第三滑动件的位置信息并传递给外部控制中心,所述外部控制中心用于发出控制指令以驱动所述芯片取放模块内的升降驱动电机和气压变换装置。

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