[实用新型]磁体组件

说明书

一种磁体组件包括支撑板和多个磁体，所述多个磁体被可移除地固定到所述支撑板并配置用以向沉积掩模施加磁力。所述多个磁体中的每个磁体包括面向所述支撑板的第一表面、与所述第一表面相反并面向所述沉积掩模的第二表面和限定在所述磁体中的磁体槽。

本申请要求2021年3月9日递交的韩国专利申请第10-2021-0030802号的优先权以及从其获得的所有权益，其全部内容通过引用合并于此。

技术领域

本公开涉及磁体组件和包括该磁体组件的沉积装置。

背景技术

发光显示设备用作用于显示图像的设备。发光显示设备可以通过像素的组合来显示图像，并且每个像素可以由发光二极管实现。

发光二极管可以包括阳极、阴极以及在阳极和阴极之间的发射层。发光二极管的发射层可以通过沉积方法提供或形成。例如，通过将待在其上形成发射层的基板布置在其上形成图案的沉积掩模上并且然后使发射层的材料穿过沉积掩模的图案，可以将与沉积掩模图案匹配的发射层沉积在基板上。

为了使沉积掩模和基板彼此紧密接触，可以使用其中磁体布置在轭板上的磁体组件，并且基板可以设置在沉积掩模与磁体组件之间。由于磁体的磁力，沉积掩模和基板可以利用附着力彼此紧密接触。

实用新型内容

实施例提供磁体组件和包括该磁体组件的沉积装置，其可以在保持由磁体组件的磁体作用在掩模组件上的平均附着力的同时降低峰值附着力。

一种磁体组件包括轭板和固定到所述轭板的多个磁体。每个磁体包括面向所述轭板的第一表面、面向与所述第一表面相反的方向的第二表面和在所述第二表面中的槽。

所述槽可以沿所述磁体的长度、以从所述第二表面起的深度延伸。

所述槽可以在所述第二表面的中央部分处沿所述磁体的长度延伸。

所述槽可以沿所述磁体的厚度方向不穿透所述磁体。

所述槽可以具有四边形、三角形、半圆形或半椭圆形截面形状。

所述磁体可以具有U形截面形状。

所述多个磁体可以沿第一方向彼此间隔开，并且沿与所述第一方向相交的第二方向彼此接触。

所述多个磁体的第二表面侧的极性可以沿所述第一方向交替，并且可以沿所述第二方向相同。

所述轭板可以包括沿所述第二方向延伸的多个槽，并且两个或更多个磁体可以在所述轭板的每个槽中。

所述磁体的所述第一表面可以是平坦的或弯曲的表面。

一种沉积装置包括：提供沉积材料的沉积源；在所述沉积源上方的掩模组件；以及在所述掩模组件上方并且包括轭板和固定到所述轭板的多个磁体的磁体组件。每个磁体包括面向所述轭板的第一表面、面向所述掩模组件的第二表面和在所述第二表面中的槽。

所述槽可以在所述第二表面的中央部分处以深度沿所述磁体的长度延伸。

所述槽可以沿所述磁体的厚度方向不穿透所述磁体。

所述槽可以具有四边形、三角形、半圆形或半椭圆形截面形状。

所述多个磁体可以从所述轭板朝向所述掩模组件突出。

所述多个磁体可以沿第一方向彼此间隔开，并且沿与所述第一方向相交的第二方向彼此接触。

所述多个磁体的第二表面侧的极性可以在所述第一方向上交替，并且可以在所述第二方向上相同。

所述轭板可以包括沿所述第二方向延伸的多个槽，并且两个或更多个磁体可以在所述轭板的每个槽中。