[实用新型]磁体组件有效
| 申请号： | 202220426477.6 | 申请日： | 2022-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN217398976U | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 洪宰敏;柳钟赫;晋丞民 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 焦立波;王琦 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 磁体 组件 | ||
1.一种磁体组件，包括：
支撑板；和
固定到所述支撑板并配置用以向沉积掩模施加磁力的多个磁体，
其特征在于，所述多个磁体中的每个磁体包括：
面向所述支撑板的第一表面，
与所述第一表面相反并面向所述沉积掩模的第二表面，和
限定在所述磁体中的磁体槽。
2.根据权利要求1所述的磁体组件，其特征在于，所述每个磁体具有长度，并且
所述磁体槽沿所述长度延伸并具有从所述第二表面起的深度。
3.根据权利要求1所述的磁体组件，其特征在于，所述每个磁体具有长度，并且
所述磁体槽在所述第二表面的中央部分处沿所述长度延伸。
4.根据权利要求1所述的磁体组件，其特征在于，所述每个磁体具有在从所述第一表面到所述第二表面的方向上的厚度，并且
所述磁体槽沿所述厚度与所述第一表面间隔开并且在面向所述沉积掩模的所述第二表面处开口。
5.根据权利要求1所述的磁体组件，其特征在于，所述磁体槽具有四边形、三角形、半圆形或半椭圆形截面形状。
6.根据权利要求1所述的磁体组件，其特征在于，所述磁体具有U形截面形状。
7.根据权利要求1所述的磁体组件，其特征在于，所述多个磁体沿第一方向彼此间隔开，并且沿与所述第一方向相交的第二方向彼此接触。
8.根据权利要求7所述的磁体组件，其特征在于，
所述每个磁体的所述第二表面包括由所述磁体槽彼此间隔开的两个部分，
所述第二表面的所述两个部分都具有第一极性或不同于所述第一极性的第二极性，并且
所述多个磁体在所述多个磁体的所述第二表面处的极性沿所述第一方向交替并且沿所述第二方向相同。
9.根据权利要求7所述的磁体组件，其特征在于，
所述支撑板包括各自沿所述第二方向延伸的多个板槽，并且
所述多个磁体中的两个或更多个磁体在所述多个板槽中的每个板槽中。
10.根据权利要求1所述的磁体组件，其特征在于，所述磁体的所述第一表面是平坦的或弯曲的表面。
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