[实用新型]一种精密调节气体分布的气管机构

权利要求书

1.一种精密调节气体分布的气管机构，设置于真空镀膜炉内部，包括总气管(1)，其特征在于：所述总气管(1)上开设有多个出气孔(2)，各个所述出气孔(2)等距排列设置在总气管(1)上，各个所述出气孔(2)与真空镀膜炉的内部相通设置，所述总气管(1)上安装有多个用于真空镀膜过程工作气体及反应气体输送的分气管(3)，所述分气管(3)的一端位于相邻的两个出气孔(2)之间，各个所述分气管(3)的另一端通过安装机构连接有输送管(5)。

2.根据权利要求1所述的一种精密调节气体分布的气管机构，其特征在于：各个所述分气管(3)上安装有流量控制阀(4)。

3.根据权利要求1所述的一种精密调节气体分布的气管机构，其特征在于：所述安装机构包括固定在分气管(3)上的操作管(601)，所述操作管(601)上开设有多个滑动槽(602)，各个所述滑动槽(602)上滑动连接有滑动板(603)，各个所述滑动板(603)位于操作管(601)内部的一端固定有弧形挤压板(604)，所述操作管(601)上设置有用于各个滑动板(603)驱动的驱动机构，所述操作管(601)内部设置有用于分气管(3)与输送管(5)之间气体输送过程密封的密封机构。

4.根据权利要求3所述的一种精密调节气体分布的气管机构，其特征在于：各个所述滑动槽(602)为方形槽，各个所述滑动板(603)分别与各个滑动槽(602)相互匹配设置。

5.根据权利要求4所述的一种精密调节气体分布的气管机构，其特征在于：各个所述滑动槽(602)环形阵列设置在操作管(601)上。

6.根据权利要求3所述的一种精密调节气体分布的气管机构，其特征在于：所述密封机构包括滑动连接在分气管(3)一端的滑动管(801)，所述滑动管(801)的一端位于操作管(601)的内部并固定有环形板(802)，所述滑动管(801)的侧壁上套设有弹簧(803)，所述弹簧(803)的两端分别与操作管(601)的内壁及环形板(802)相连接。

7.根据权利要求3所述的一种精密调节气体分布的气管机构，其特征在于：所述驱动机构包括转动连接在操作管(601)一端的驱动环(701)，所述驱动环(701)靠向各个滑动板(603)的一侧设置有螺旋条(702)，所述螺旋条(702)上滑动连接有多个传动板(703)，各个所述传动板(703)分别与各个滑动板(603)相固定。

8.根据权利要求7所述的一种精密调节气体分布的气管机构，其特征在于：所述驱动环(701)上固定有驱动销(704)，所述驱动销(704)上设置有防滑凸起。