[实用新型]片盒包装袋内气体含量及密封性检测装置有效
申请号: | 202220377476.7 | 申请日: | 2022-02-23 |
公开(公告)号: | CN216955053U | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | 李迎辉;徐晨鸽 | 申请(专利权)人: | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
主分类号: | G01M3/34 | 分类号: | G01M3/34 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 221000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 片盒包 装袋 气体 含量 密封性 检测 装置 | ||
本实用新型公开一种片盒包装袋内气体含量及密封性检测装置,包括检测箱体、密封盖、充气部件、抽气部件、压力传感器和控制单元;检测箱体一侧具有开口;密封盖用于密封检测箱体的开口处;充气部件包括充气管路、第一气动阀、第一手动比例阀和第一气体流量计,用于定量向检测箱体内部注入气体;抽真空部件与检测箱体相连;压力传感器安装在检测箱体内部;控制单元用于根据接收到的流量值控制第一气动阀打开或关闭,用于控制抽真空部件是否抽取检测箱体内的气体,用于将接收到的压力数据并传送至显示屏显示出来。本实用新型能够及时有效地检测装有片盒的包装袋内部的气体含量及密封性,避免漏检、错检、漏放的风险,且检测准确、检测时间短。
技术领域
本实用新型涉及一种检测装置,具体是一种片盒包装袋内气体含量及密封性检测装置,属于气体检测技术领域。
背景技术
单硅片的加工生产流程一般包括长晶、滚圆、线切、双面减薄、边缘倒角、表面腐蚀、热处理、抛光、清洗、外延、检测、包装等主要步骤,在包装硅片时,首先将硅片放入到片盒中,再将片盒放入到包装袋中,并对包装袋进行抽真空操作完成包装步骤,然后再运送至客户手中。但是,若在包装时出现漏气、真空太紧(片盒内硅片变形、拆袋时易受污染)、真空太松(装箱困难、高空运输易受气压影响破损)等问题,且未能及时有效地检查出来,而直接送货至客户手里,将直接导致产品报废,严重者还会导致客户投诉,影响客户观感及后续合作,因此,及时有效地发现片盒包装后其包装袋内气体含量及封口密封性问题至关重要。
目前片盒包装好后,通常采用目视的方式对包装后的片盒进行包装袋内气体含量及封口密封性检查,即在包装完成后,操作人员通过两手挤压包装袋两侧的方式来观察包装袋内是否有气体残留,以及残留的气体是否符合包装要求;另一方面,通过两手挤压的方式,查看包装袋内气体的量的变化,来观察包装袋封口或其他位置是否漏气,但是这种方式在实际操作时具有以下缺陷:
1.因目视检查需用两手挤压的方式完成,故挤压时所用力量的大小会影响判定结果;
2.因目视检查全凭操作员个人主观判断,没有一个判断标准,因此,目视检查时可能会出现不同的判定标准,即同一产品会出现两种不同的判定结果;
3.以目视的方式进行包装袋内气体含量的检查,不够精准且存在误判风险;
4.因包装袋漏气多为缓慢漏气,故较难通过两手挤压的方式短时间判定是否漏气,且挤压时力道不同也会影响判定,存在漏气漏放风险;
5.操作员目视检查时需不断对每一个产品进行各角度挤压判定,以达到合格的检验要求,过程较为繁琐,且时间较长。
发明内容
针对上述现有技术存在的问题,本实用新型提供一种片盒包装袋内气体含量及密封性检测装置,能够及时有效地检测装有片盒的包装袋内部的真空度及密封性,避免漏检、错检、漏放的风险,且检测准确,操作简单,检测时间短。
为实现上述目的,本实用新型一种片盒包装袋内气体含量及密封性检测装置,包括
检测箱体,所述检测箱体一侧具有开口;
密封盖,所述密封盖用于密封检测箱体的开口处;
充气部件,所述充气部件主要由充气管路、第一气动阀、第一手动比例阀和第一气体流量计组成,所述充气管路一端与检测箱体连通,另一端与氮气供给管路相连;所述第一气动阀、第一手动比例阀和第一气体流量计连接在充气管路上;
抽真空部件,所述抽真空部件与检测箱体相连,所述抽气管路一端与检测箱体连通,另一端与排气管路相连;
压力传感器,所述压力传感器安装在检测箱体内部,用于检测真空箱体内的气体压力;
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