[实用新型]一种翻转式芯片设计加工用夹持装置有效

专利信息
申请号: 202220287051.7 申请日: 2022-02-14
公开(公告)号: CN217062050U 公开(公告)日: 2022-07-26
发明(设计)人: 赵成兵 申请(专利权)人: 苏州格巨电子科技有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687
代理公司: 深圳市宾亚知识产权代理有限公司 44459 代理人: 黄磊
地址: 215000 江苏省苏州市吴中*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 翻转 芯片 设计 工用 夹持 装置
【说明书】:

本实用新型公开了一种翻转式芯片设计加工用夹持装置,涉及夹持装置技术领域,包括底板和翻转夹持单元;底板上表面设置有缓冲单元,所述缓冲单元上设置有旋转单元,所述旋转单元上设置有放置板;翻转夹持单元包含有支撑板、电动推杆、固定板、翻转电机、转轴、安装架、L型板、夹持电机、双向螺杆、安装座、螺栓和夹持板,所述支撑板共两个且均设置在放置板的上表面,一个支撑板上设置有电动推杆,所述电动推杆转动连接安装架,另一个支撑板上转动连接有转轴,所述转轴的两端分别连接安装架和翻转电机的输出轴,该装置能够对芯片进行精准夹持,避免对芯片造成损伤,且能对芯片加工时的角度进行调整。

技术领域

本实用新型涉及夹持装置技术领域,具体为一种翻转式芯片设计加工用夹持装置。

背景技术

集成电路,或称微电路、微芯片、晶片/芯片在电子学中是一种把电路(主要包括半导体设备,也包括被动组件等)小型化的方式,并时常制造在半导体晶圆表面上,芯片加工时,需通过刻蚀将光胶层上的平面二维图形转移到薄膜上,然后再基片上加工,而在加工过程中,需借助辅助夹持装置对其进行夹持,从而方便加工;

现在技术中公开号为CN214542177U的专利公开的了一种翻转式芯片设计加工用夹持装置,包括底座、驱动箱和支撑架,底座顶端的一侧固定安装有驱动箱,驱动箱内壁的中部固定安装有隔板,隔板的顶端固定安装有减速电机,减速电机的输出端穿过驱动箱的一侧固定连接有旋转板,底座顶端的另一侧固定安装有支撑架,支撑架的中部固定安装有电动推杆,电动推杆的一端通过转轴转动连接有固定板,固定板一侧的两端和旋转板一侧的两端均开设有滑槽,且两个滑槽的表面各自滑动连接有两个对称设置的夹板;

其在对进行夹持时,需要人为辅助对芯片夹持尺寸进行进行调整,无法对芯片进行精准夹持,极易对芯片造成损伤,且在对芯片进行加工时,无法对加工的角度进行调整,为此,我们提出一种翻转式芯片设计加工用夹持装置。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷,提供一种翻转式芯片设计加工用夹持装置,能够对芯片进行精准夹持,避免对芯片造成损伤,且能对芯片加工时的角度进行调整,可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种翻转式芯片设计加工用夹持装置,包括底板和翻转夹持单元;

底板:上表面设置有缓冲单元,所述缓冲单元上设置有旋转单元,所述旋转单元上设置有放置板;

翻转夹持单元:包含有支撑板、电动推杆、固定板、翻转电机、转轴、安装架、L型板、夹持电机、双向螺杆、安装座、螺栓和夹持板,所述支撑板共两个且均设置在放置板的上表面,一个支撑板上设置有电动推杆,所述电动推杆转动连接安装架,另一个支撑板上转动连接有转轴,所述转轴的两端分别连接安装架和翻转电机的输出轴,所述翻转电机设置在固定板上,所述固定板设置在支撑板上,所述安装架上设置有L型板,所述L型板上设置有夹持电机,所述夹持电机的输出轴连接双向螺杆,所述双向螺杆的两端螺纹方向相反,双向螺杆的两端分别螺纹连接安装座,所述安装座滑动连接安装架,安装座上设置有螺栓,安装座上滑动连接有夹持板,电动推杆、翻转电机和夹持电机的输入端电连接外部控制开关组的输出端。

根据芯片的形状选择合适的夹持板,把夹持板安装到安装座上,并通过螺栓把夹持板固定在安装座上,根据芯片的尺寸,通过外部控制开关组控制电动推杆工作,电动推杆带动安装架移动,从而对两个安装架之间的距离进行调整,安装架移动到合适位置,根据芯片的尺寸,通过外部控制开关组控制夹持电机工作,夹持电机带动双向螺杆转动,双向螺杆带动两个安装座移动,安装座带动夹持板移动,使得夹持板接触到芯片并对芯片进行固定,当需要对芯片进行翻转加工时,通过外部控制开关组控制翻转电机工作,翻转电机带动转轴转动,转轴带动安装架转动,从而对芯片进行翻转,通过旋转单元带动放置板转动,从而使得芯片进行转动,便于对芯片进行不同角度的加工,通过缓冲单元对底板受到的震动进行缓冲,避免对芯片加工造成影响。

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