[实用新型]扫描电镜样品台

说明书

本实用新型提供一种扫描电镜样品台(1)，其包括基座(2)和可拆卸地固定连接到所述基座的样品台本体(3)，所述样品台本体(3)具有用于粘贴样品(S)的贴样部(4)和用于将该样品台本体(3)连接到该基座(2)的圆柱形连接部(5)，其中所述贴样部(4)由垂直于所述圆柱形连接部的上端面向上延伸直多棱柱构成，以提供至少三个竖直的平面贴样区(40)，所述直多棱柱与所述圆柱形连接部一体形成。这种扫描电镜样品台可将样品侧向垂直粘贴，观察量更多，粘贴面积更大，效果更稳定，速度更快，可节省大量时间，提高观察效果。

技术领域

本实用新型涉及扫描电镜检测领域的样品安装工具，尤其涉及一种扫描电镜样品台。

背景技术

扫描电子显微镜(SEM)，简称为扫描电镜，其是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察用电子设备，其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。

扫描电镜检测，简称SEM检测，是利用扫描电镜进行检测的一种测试方法，其具有两个基本功能：一是可以将样品表面放大25倍至100万倍；二是可以对样品表面的微区域中的元素进行定性和定量分析。

如果将样品放入扫描电镜设备中，则需要一个符合设备的标准尺寸的固定装置。目前市场上的固定装置不适合观察硅晶片的横截面，因此需要一种设计成能将被测样品安装在更稳定、更大面积上的固定装置，例如样品台。

目前市场上用于安装样品的扫描电镜样品台大多为圆柱体，可以将硅晶片或粉末粘贴在圆柱体的圆形端面上，也可以将硅晶片粘贴在样品台的圆柱形侧面上。这种样品台不容易观察到粘贴在样品台的圆柱形侧面上的样品，并且硅晶片不易粘贴，或者粘贴后稳定性差，晶片可能会晃动。

发明内容

因此，本实用新型的目的是解决现有技术中的问题，提供一种不仅观察量更多、粘贴面积更大、效果更稳定，而且可以节省大量时间、提高观察效果的扫描电镜样品台。

为此，本实用新型提供一种扫描电镜样品台，其包括基座和可拆卸地固定连接到所述基座的样品台本体，所述样品台本体具有用于粘贴样品的贴样部和用于将该样品台本体连接到该基座的圆柱形连接部，所述贴样部由垂直于所述圆柱形连接部的上端面向上延伸直多棱柱构成，以提供至少三个竖直的平面贴样区，所述直多棱柱与所述圆柱形连接部一体形成。在上述扫描电镜样品台中，通过提供这种构造的贴样部，能够在平的贴样面上更稳定地粘贴样品，并且可以粘贴较多的样品。

在一个优选方案中，所述直多棱柱的底面为正多边形，所述正多边形的中心与该圆柱形连接部的圆形上端面的圆心重合，从而能够提供基本相同的平面贴样区。

在根据本实用新型的一个方案中，所述直多棱柱的底面为正三角形，以提供三个竖直的平面贴样区。在一个替代方案中，所述直多棱柱的底面为正方形，以提供四个竖直的平面贴样区。在又一个替代方案中，所述直多棱柱的底面为正五边形，以提供五个竖直的平面贴样区。应当理解，这里直多棱柱的棱数仅仅是示例性的，其可以根据实际应用的需要进行选择。例如直六棱柱，即底面为正六边形的直多棱柱同样涵盖在本申请的范围内，以提供数目符合要求的平面贴样区。

在一个优选方案中，所述基座可以构造为圆筒形基座，在该基座的内周面上可设有内螺纹，同时在该圆柱形连接部的外周面上设有相应的外螺纹，所述样品台本体通过所述外螺纹和所述内螺纹的配合而螺纹连接到该基座。采用螺纹连接具有方便快捷的优点。但本领域技术人员应当理解，其它合适的连接方式同样涵盖在本申请的范围内。

在本实用新型中，所述扫描电镜样品台通过所述基座可拆卸地固定连接到扫描电镜的样品仓内。

在一个可选方案中，在所述基座的圆筒形侧壁上设有两个安装孔，这两个安装孔为备用安装孔，其可以与紧固件配合将扫描电镜样品台安装在扫描电镜的样品仓内。