[实用新型]扫描电镜样品台有效

专利信息
申请号: 202220244436.5 申请日: 2022-01-27
公开(公告)号: CN217359684U 公开(公告)日: 2022-09-02
发明(设计)人: 赵迎新;任辉 申请(专利权)人: 贺利氏光伏科技(上海)有限公司
主分类号: G01N23/2204 分类号: G01N23/2204;G01N23/2251
代理公司: 北京市中咨律师事务所 11247 代理人: 刘敏;吴鹏
地址: 201109 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 扫描电镜 样品
【权利要求书】:

1.一种扫描电镜样品台(1),其特征在于,包括基座(2)和可拆卸地固定连接到所述基座的样品台本体(3),所述样品台本体(3)具有用于粘贴样品(S)的贴样部(4)和用于将该样品台本体(3)连接到该基座(2)的圆柱形连接部(5),其中所述贴样部(4)由垂直于所述圆柱形连接部的圆形上端面向上延伸的直多棱柱构成,以提供至少三个竖直的平面贴样区(40),所述直多棱柱与所述圆柱形连接部一体形成,所述基座(2)构造为圆筒形基座,并且在所述基座(2)的圆筒形侧壁上设有两个安装孔(20)。

2.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台(1),其特征在于,所述直多棱柱的底面为正多边形,所述正多边形的中心与该圆柱形连接部(5)的圆形上端面的圆心重合。

3.根据权利要求2所述的扫描电镜样品台(1),其特征在于,所述直多棱柱的底面为正三角形,以提供三个竖直的平面贴样区(40)。

4.根据权利要求2所述的扫描电镜样品台(1),其特征在于,所述直多棱柱的底面为正方形,以提供四个竖直的平面贴样区(40)。

5.根据权利要求2所述的扫描电镜样品台(1),其特征在于,所述直多棱柱的底面为正五边形,以提供五个竖直的平面贴样区(40)。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的扫描电镜样品台(1),其特征在于,在该基座的内周面上设有内螺纹(21);在该圆柱形连接部的外周面上设有相应的外螺纹(51),所述样品台本体(3)通过所述外螺纹(51)和所述内螺纹(21)的配合而螺纹连接到该基座。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的扫描电镜样品台(1),其特征在于,所述扫描电镜样品台通过所述基座(2)可拆卸地固定连接到扫描电镜的样品仓内。

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