[实用新型]真空吸嘴结构有效
申请号: | 202220242559.5 | 申请日: | 2022-01-28 |
公开(公告)号: | CN216957987U | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | 于建忠;凌万秾 | 申请(专利权)人: | 东莞市博视智控科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人: | 张龙哺 |
地址: | 523000 广东省东莞市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空 结构 | ||
1.真空吸嘴结构,其特征在于,包括:
导气杆,内部设置有导气通道;
吸附件,连接于所述导气杆一端,所述吸附件包括有柔性吸盘,所述柔性吸盘与所述导气通道连通;
基准套,可沿轴向滑动地连接在所述导气杆上,所述柔性吸盘部分露出至所述基准套外侧,所述基准套靠近所述柔性吸盘的一端设有基准面;
弹性件,连接所述基准套和所述导气杆,所述弹性件用于驱动所述基准套自动复位至相对远离所述导气杆的位置;其中,
所述柔性吸盘工作时产生的真空吸附力能够始终大于所述弹性件所产生的弹性力,所述柔性吸盘在所述导气杆轴向上的最大变形量小于所述基准套的可滑动行程。
2.根据权利要求1所述的真空吸嘴结构,其特征在于:还包括有导气座,所述导气杆可转动地穿设于所述导气座,所述导气座与所述导气杆之间形成有环形的导气槽,所述导气座设置有连通所述导气槽的导气接头,所述导气杆的中心设置有与所述柔性吸盘连通的中心孔,所述导气杆的侧壁设置有连通所述中心孔和导气槽的通气孔,所述导气通道包括有所述中心孔和通气孔。
3.根据权利要求2所述的真空吸嘴结构,其特征在于:所述导气杆包括有转轴和连接杆,所述转轴可转动地连接于所述导气座,所述转轴设置有所述通气孔及中心孔,所述连接杆中空设置且连接所述转轴和吸附件。
4.根据权利要求3所述的真空吸嘴结构,其特征在于:所述导气座与所述转轴之间设置有第一密封圈,所述导气槽的两侧均设置有所述第一密封圈。
5.根据权利要求4所述的真空吸嘴结构,其特征在于:所述导气座的内部两端安装有轴承,所述转轴通过所述轴承可转动地连接于所述导气座,所述第一密封圈设置于所述轴承与所述导气槽之间。
6.根据权利要求3至5任一项所述的真空吸嘴结构,其特征在于:所述导气杆包括有连接套,所述连接套连接于所述转轴靠近所述吸附件的一端,所述基准套可滑动地连接在所述连接套上,所述弹性件设置于所述基准套和连接套之间。
7.根据权利要求6所述的真空吸嘴结构,其特征在于:所述连接套和所述转轴设置有相互插接配合的第二定位柱和第二定位孔,且所述连接套通过磁力吸附固定于所述转轴。
8.根据权利要求6所述的真空吸嘴结构,其特征在于:所述基准套的一端插装于所述连接套内,所述基准套的侧面设置有凸轴,所述连接套设置有与所述凸轴配合的滑槽。
9.根据权利要求7所述的真空吸嘴结构,其特征在于:所述连接套的内侧设置有台阶面,所述基准套的端面设置有安装孔,所述弹性件安装在所述安装孔内,且一端与所述台阶面抵接。
10.根据权利要求3至5任一项所述的真空吸嘴结构,其特征在于:所述吸附件包括有中空的吸嘴管,所述吸嘴管的一端与所述连接杆螺纹连接,所述吸嘴管的另一端连接所述柔性吸盘。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造