[实用新型]机械手臂承载装置与承载物平行感测系统

说明书

一种机械手臂承载装置与承载物平行感测系统，包含有：一承载装置，具有一承载面；其中该承载面具有一第一位置及一第二位置，且该第一位置与该第二位置间距一预定距离；一第一感测单元及一第二感测单元，设于该承载装置，用以感测该承载面的振动，据以产生一第一讯号与一第二讯号；一处理装置，用以接收并分析该第一讯号及该第二讯号；以及一警示装置，通讯连接该处理装置；借此，当该处理装置判断该第一讯号与该第二讯号不同时，即控制该警示装置发出一警示讯号。

技术领域

本实用新型与机械手臂有关，特别是指一种可即时监控机械手臂与承载物之间的平行状态是否异常的机械手臂承载装置与承载物平行感测系统。

背景技术

在半导体的领域中，由于涉及晶圆的作业需要精确无误差的操作，因此业界普遍在制程中使用由电脑控制的机械手臂来执行搬运晶圆的作业。虽然机械手臂是利用电脑控制，但有时候还是会因突发状况而导致机械手臂产生不正常的动作如振动或偏摆，这些不正常的动作都会影响搬运晶圆时的精度，轻则影响搬运的那片晶圆，严重的话甚至会影响到整个制程中的晶圆。因此为了确保机械手臂的准确度，业者会在机械手臂上安装可以感测振动或位移的感测器，随时感应机械手臂是否保持正常的位置。一旦不正常的振动或位移产生偏差时，感测器会产生一讯号传输至主机中，进而提醒工程师或控制软体机械手臂的问题，将晶圆制程中的不确定因素降低。

过去在机械手臂上设置感测器的技术已有相关研发，如一种装置稳定性监控系统，为一侦测装置安装于一机械手臂的表面，用以即时监控机械手臂的振动状况，然后透过一告警模组在超过范围时发出告警讯息；另一种感测装置及感测系统，包含一感测装置安装在机械手臂的机身、底座或靠近马达的表面，利用该感测装置的振动讯号来判断机械或机台是否有异常；又一种可预先侦测机械手臂及帮浦异常的装置，包含有复数个感测器设置在机械手臂的连动机构表面，通过收集机械手臂的位移或振动资讯与资料库比对是否有异常讯号，并在异常讯号发出时回传给主机预先警示。

上述常用的机械手臂感测系统，主要是用来侦测机械手臂本身的振动状态。然而，一个问题是机械手臂或晶圆可能在前一制程中因为某些原因(如在前一制程进行倾斜或旋转)而未保持水平状态，常用的机械手臂感测系统仅能判断机械手臂是否产生振动，而无法察觉机械手臂或晶圆未处于水平状态，容易导致机械手臂在下一制程中在承载晶圆时无法维持稳定而影响到制程进行。因此，如何在机械手臂承载或运送晶圆时亦能即时感测机械手臂与晶圆之间是否处在平行状态是相关业界亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种机械手臂承载装置与承载物平行感测系统，其可以即时监控机械手臂承载装置与承载物间的平行状态是否有异常。

为达成上述目的，本实用新型所提供的一种机械手臂承载装置与承载物平行感测系统，包含有：一承载装置，具有一承载面；其中该承载面具有一第一位置及一第二位置，且该第一位置与该第二位置间距一预定距离；一第一感测单元，设于该承载装置的该第一位置，用以感测该承载面的振动，据以产生一第一讯号；一第二感测单元，设于该承载装置的该第二位置，用以感测该承载面的振动，据以产生一第二讯号；一处理装置，通讯连接于该第一感测单元及该第二感测单元，用以接收并分析该第一讯号及该第二讯号；以及一警示装置，通讯连接该处理装置；借此，当该处理装置判断该第一讯号与该第二讯号不同时，即控制该警示装置发出一警示讯号。

在一实施例中，该处理装置分析该第一讯号以产生一第一讯号产生时间，该处理装置分析该第二讯号以产生一第二讯号产生时间；若该第一讯号产生时间与该第二讯号产生时间之一时间差大于一预定时间，该处理装置即判断该第一讯号与该第二讯号不同。

在一实施例中，该承载装置内部具有一第一感测容置空间及一第二感测容置空间；该第一感测容置空间位于该第一位置，该第二感测容置空间位于该第二位置，且该第一感测单元容置于该承载装置的该第一感测容置空间内，该第二感测单元容置于该承载装置的该第二感测容置空间内。