[实用新型]一种适用于碳化硅坩埚的支撑架有效
申请号: | 202220149086.4 | 申请日: | 2022-01-20 |
公开(公告)号: | CN217189686U | 公开(公告)日: | 2022-08-16 |
发明(设计)人: | 谈盛康 | 申请(专利权)人: | 宜兴市旭日耐材制品有限公司 |
主分类号: | B01L9/00 | 分类号: | B01L9/00;B01L3/04 |
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地址: | 214200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 适用于 碳化硅 坩埚 支撑架 | ||
1.一种适用于碳化硅坩埚的支撑架,包括主体底盘(1)和启动盘(2),其特征在于:所述启动盘(2)设于主体底盘(1)的上端面,所述启动盘(2)和主体底盘(1)卡合连接,所述启动盘(2)的上端面设有若干个供卡合座(3)移动的位移槽,所述卡合座(3)均通过位移槽与启动盘(2)的上端面活动连接,所述启动盘(2)和主体底盘(1)的中部均开设有烧灼孔(4),所述主体底盘(1)远离启动盘(2)的一端设有升降机构(5)。
2.根据权利要求1所述的一种适用于碳化硅坩埚的支撑架,其特征在于:所述启动盘(2)的内部设有驱动盘(6),所述驱动盘(6)与启动盘(2)的内部间隙配合连接,所述驱动盘(6)的上端面设有螺纹,所述驱动盘(6)与卡合座(3)延伸入位移槽的一端相互抵接。
3.根据权利要求1所述的一种适用于碳化硅坩埚的支撑架,其特征在于:所述升降机构(5)包括稳定柱(501)和升降柱(502),所述升降柱(502)套设于稳定柱(501)的中部,所述升降柱(502)远离稳定柱(501)的一端设有与主体底盘(1)的下端面卡合的固定块。
4.根据权利要求3所述的一种适用于碳化硅坩埚的支撑架,其特征在于:所述升降柱(502)的外缘面一侧设有与稳定柱(501)相互锁定的卡扣,所述稳定柱(501)的一侧开设有若干个供升降柱(502)的卡扣锁定的孔。
5.根据权利要求2所述的一种适用于碳化硅坩埚的支撑架,其特征在于:所述主体底盘(1)的一侧设有旋转柱(7),所述旋转柱(7)延伸入主体底盘(1)内的一端与主体底盘(1)的内部活动连接,所述旋转柱(7)延伸入主体底盘(1)内的一端套设有驱动齿轮(8)。
6.根据权利要求5所述的一种适用于碳化硅坩埚的支撑架,其特征在于:所述驱动齿轮(8)的外缘面穿过主体底盘(1)的内部,所述驱动盘(6)的下端面设有与驱动齿轮(8)啮齿配合的移动齿,所述驱动齿轮(8)的外缘面与驱动盘(6)的移动齿啮齿配合。
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