[实用新型]一种晶圆分切用治具

说明书

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体公开了一种晶圆分切用治具，包括托盘，所述托盘的表面可拆卸连接有定位机构，所述定位机构包括连接板，所述连接板的表面设置有固定圈，所述固定圈的边缘竖向开设有环形槽，所述固定圈的内部横向开设有贯穿环形槽的导线槽，所述环形槽的内侧可拆卸连接有晶圆，所述连接板的边缘设置有将晶圆固定在环形槽内部的固定组件。本实用新型提供的一种晶圆分切用治具，晶圆在切割过程中不会晃动，切割效率较高，导线槽可以对切刀进行导线与定位，使得到的产品厚度相同，可以使产品的质量更好。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆分切用治具。

背景技术

晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆，通过切割设备可以将整块的圆柱形晶圆切割成相同厚度的多个晶圆，在对晶圆切割时需要将其进行固定。

现有的技术是通过胶直接将原料粘到设备的托盘上进行切割，这种固定方式会增加工序，且切片良品率不好把控，另外，拆除费时费力，导致加工效率低下。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆分切用治具，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆分切用治具，包括托盘，所述托盘的表面可拆卸连接有定位机构，所述定位机构包括连接板，所述连接板的表面设置有固定圈，所述固定圈的边缘竖向开设有环形槽，所述固定圈的内部横向开设有贯穿环形槽的导线槽，所述环形槽的内侧可拆卸连接有晶圆，所述连接板的边缘设置有将晶圆固定在环形槽内部的固定组件。

优选的，所述固定组件包括弹片，所述弹片与连接板之间连接有固定螺丝，所述弹片通过固定螺丝安装在连接板的外表面。

优选的，所述弹片的上部一端固定连接有弹性垫，所述弹性垫上部一端表面与晶圆的下部外表面接触。

优选的，所述连接板的表面开设有滑槽，所述弹性垫滑动连接在滑槽的内部，所述弹性垫与滑槽尺寸相适配。

优选的，所述连接板通过M6螺丝安装在托盘的表面，所述连接板、固定圈均为圆形。

优选的，所述环形槽的数量为多个，多个所述环形槽在固定圈的边缘呈圆形阵列排布，所述环形槽的一端为开口，所述晶圆通过开口放置于环形槽内。

优选的，所述环形槽的数量至少为两个，所述环形槽呈等间距排布。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：将晶圆通过开口放入环形槽的内部，通过固定螺丝将弹片固定在连接板的表面，可以使弹片上部一端的弹性垫抵在晶圆的表面，进而可以将晶圆固定在环形槽中，晶圆的固定比较牢固，切刀伸入导线槽内部对晶圆进行分切，晶圆在切割过程中不会晃动，且托盘可以带动晶圆在切割时转动，一次可以切割一周的晶圆，切割效率较高，另外，导线槽可以对切刀进行导线与定位，使得到的产品厚度相同，可以保证产品的质量，且拆卸比较方便。

附图说明

图1为本实用新型一种晶圆分切用治具的整体结构示意图；

图2为本实用新型一种晶圆分切用治具局部结构示意图；

图3为本实用新型一种晶圆分切用治具的固定组件的放大结构示意图；

图4为本实用新型一种晶圆分切用治具的定位机构的局部放大图。

图中：1、托盘；2、定位机构；21、连接板；22、固定圈；23、环形槽；24、导线槽；3、晶圆；4、固定组件；41、弹片；42、弹性垫；43、固定螺丝；44、滑槽。

具体实施方式