[实用新型]一种键合丝逆向热风吹干装置有效

专利信息
申请号: 202220023853.7 申请日: 2022-01-07
公开(公告)号: CN217402978U 公开(公告)日: 2022-09-09
发明(设计)人: 李天祥;张贺源 申请(专利权)人: 深圳金斯达半导体材料有限公司
主分类号: F26B5/14 分类号: F26B5/14;F26B21/00;B08B1/00
代理公司: 宁波海曙甬睿专利代理事务所(普通合伙) 33330 代理人: 谭兴富
地址: 518000 广东省深圳市龙岗区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 键合丝 逆向 热风 吹干 装置
【说明书】:

实用新型公开了一种键合丝逆向热风吹干装置,包括环形气刀,所述环形气刀内同轴开设有环形槽,所述环形槽槽壁上水平均匀固定连接多根水平均气管,每根所述水平均气管的一端均贯穿环形气刀的侧壁并延伸至环形气刀外,且环形气刀内开设有多个与水平均气管密封滑动连接的孔洞,多根所述水平均气管位于环形气刀外的部分上共同固定套设有活动块,所述活动块中部水平贯穿开设有通孔,所述环形槽内设有与水平均气管配合的往复机构。本实用新型中,外界热风装置内的热风经过进风管、水平均气管、斜管吹向键合丝,从而可以逆向对键合丝进行风干,退完火的产品可以即时进入下一道工序生产,极大的提高了生产效率,缩短生产周期。

技术领域

本实用新型涉及键合丝清洗技术领域,尤其涉及一种键合丝逆向热风吹干装置。

背景技术

键合丝是一种用于集成电路的金属丝,键合丝在退火后要通过退火液进行冷却处理,然而退火处理后附在键合丝表面的退火液有时不能及时挥发掉,从而使得键合丝在后续的使用中会出现粘线现象,导致键合丝放线不顺畅,严重影响集成电路的生产效率,现行的办法是将整卷线放入烘箱中烘烤12小时以上,才能进行下一道工序生产,不仅耗时久,退火液蒸发后,退火液中的残渣残留在键合丝上也会影响键合丝的正常使用。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的传统的键合丝干燥装置使用时不仅耗时久,还不能够及时对键合丝表面进行清洁的缺点,而提出的一种键合丝逆向热风吹干装置。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种键合丝逆向热风吹干装置,包括环形气刀,所述环形气刀内同轴开设有环形槽,所述环形槽槽壁上水平均匀固定连接多根水平均气管,每根所述水平均气管的一端均贯穿环形气刀的侧壁并延伸至环形气刀外,且环形气刀内开设有多个与水平均气管密封滑动连接的孔洞,多根所述水平均气管位于环形气刀外的部分上共同固定套设有活动块,所述活动块中部水平贯穿开设有通孔,所述环形槽内设有与水平均气管配合的往复机构,所述通孔内设有清洁机构。

在上述键合丝逆向热风吹干装置中,所述环形气刀中部同水平开设有与通孔对应的通道,且通道的水平中轴线与通孔的水平中轴线重合。

在上述键合丝逆向热风吹干装置中,所述环形槽槽壁与外界之间连通设有进风管,所述进风管远离环形槽的一端与外界热风装置连通。

在上述键合丝逆向热风吹干装置中,每根所述水平均气管远离环形槽的一端均固定连通设有斜管,每根所述斜管远离水平均气管的一端均朝向通孔的水平中轴线。

在上述键合丝逆向热风吹干装置中,所述往复机构包括环形槽槽壁上固定连接的多个与水平均气管正对的电磁铁,每根所述水平均气管位于环形槽内端口上均固定套设有永磁环,且永磁环与电磁铁相对的侧面同极相对,每个所述电磁铁的输入端均通过导线与外界直流脉冲电源输出端电性连接,每个所述永磁环和对应电磁铁之间均设有复位弹簧。

在上述键合丝逆向热风吹干装置中,所述清洁机构包括活动块内开设的多个安装槽,每个所述安装槽内均滑动连接有滑块,每个所述滑块远离通孔的侧面与对应安装槽槽壁之间均设有限位弹簧,每个所述滑块远离对应限位弹簧的一端均延伸至通孔内并固定连接有海绵块。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果在于:

1、本实用新型中,外界热风装置内的热风经过进风管、水平均气管、斜管吹向键合丝,从而可以逆向对键合丝进行风干,退完火的产品可以即时进入下一道工序生产,极大的提高了生产效率,缩短生产周期。

2、本实用新型中,通过设置往复机构和清洁机构,在对键合丝进行风干的同时,能够往复的带动海绵块对键合丝进行摩擦,既能够避免退火液中的残渣吸附在键合丝上,又能够进一步的对键合丝进行除水,避免退火液蒸发后的水汽吸附在键合丝上,风干质量更好。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种键合丝逆向热风吹干装置的结构示意图;

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