[实用新型]一种键合丝逆向热风吹干装置有效

专利信息
申请号: 202220023853.7 申请日: 2022-01-07
公开(公告)号: CN217402978U 公开(公告)日: 2022-09-09
发明(设计)人: 李天祥;张贺源 申请(专利权)人: 深圳金斯达半导体材料有限公司
主分类号: F26B5/14 分类号: F26B5/14;F26B21/00;B08B1/00
代理公司: 宁波海曙甬睿专利代理事务所(普通合伙) 33330 代理人: 谭兴富
地址: 518000 广东省深圳市龙岗区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 键合丝 逆向 热风 吹干 装置
【权利要求书】:

1.一种键合丝逆向热风吹干装置,包括环形气刀(1),其特征在于,所述环形气刀(1)内同轴开设有环形槽(2),所述环形槽(2)槽壁上水平均匀固定连接多根水平均气管(4),每根所述水平均气管(4)的一端均贯穿环形气刀(1)的侧壁并延伸至环形气刀(1)外,且环形气刀(1)内开设有多个与水平均气管(4)密封滑动连接的孔洞,多根所述水平均气管(4)位于环形气刀(1)外的部分上共同固定套设有活动块(5),所述活动块(5)中部水平贯穿开设有通孔(11),所述环形槽(2)内设有与水平均气管(4)配合的往复机构,所述通孔(11)内设有清洁机构。

2.根据权利要求1所述的一种键合丝逆向热风吹干装置,其特征在于,所述环形气刀(1)中部同水平开设有与通孔(11)对应的通道(10),且通道(10)的水平中轴线与通孔(11)的水平中轴线重合。

3.根据权利要求1所述的一种键合丝逆向热风吹干装置,其特征在于,所述环形槽(2)槽壁与外界之间连通设有进风管(3),所述进风管(3)远离环形槽(2)的一端与外界热风装置连通。

4.根据权利要求1所述的一种键合丝逆向热风吹干装置,其特征在于,每根所述水平均气管(4)远离环形槽(2)的一端均固定连通设有斜管(6),每根所述斜管(6)远离水平均气管(4)的一端均朝向通孔(11)的水平中轴线。

5.根据权利要求1所述的一种键合丝逆向热风吹干装置,其特征在于,所述往复机构包括环形槽(2)槽壁上固定连接的多个与水平均气管(4)正对的电磁铁(8),每根所述水平均气管(4)位于环形槽(2)内端口上均固定套设有永磁环(7),且永磁环(7)与电磁铁(8)相对的侧面同极相对,每个所述电磁铁(8)的输入端均通过导线与外界直流脉冲电源输出端电性连接,每个所述永磁环(7)和对应电磁铁(8)之间均设有复位弹簧(9)。

6.根据权利要求1所述的一种键合丝逆向热风吹干装置,其特征在于,所述清洁机构包括活动块(5)内开设的多个安装槽(12),每个所述安装槽(12)内均滑动连接有滑块(13),每个所述滑块(13)远离通孔(11)的侧面与对应安装槽(12)槽壁之间均设有限位弹簧(14),每个所述滑块(13)远离对应限位弹簧(14)的一端均延伸至通孔(11)内并固定连接有海绵块(16)。

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