[发明专利]一种基于钙钛矿材料的太赫兹可调吸波超表面结构

权利要求书

1.一种基于钙钛矿材料的太赫兹可调吸波超表面结构，其特征在于，包括若干单元结构，单元结构从底部向上依次包括金属底板、介质基板、钙钛矿层和蚀刻在钙钛矿层上的金属结构，所述金属结构包括圆环和圆环内部的十字，所述圆环内部在与十字对应的部分设置有突起，圆环的内部十字由两个相同的长方形垂直交叉组成。

2.如权利要求1所述的一种基于钙钛矿材料的太赫兹可调吸波超表面结构，其特征在于，所述金属底板、介质基板和钙钛矿层的长度和宽度均为100μm，所述金属底板和钙钛矿层的高度均为0.2μm，所述介质基板的高度为100μm。

3.如权利要求1所述的一种基于钙钛矿材料的太赫兹可调吸波超表面结构，其特征在于，所述金属结构中的圆环包括外圆和内圆两个同心圆，所述外圆半径为45μm，所述内圆半径为40μm。

4.如权利要求1所述的一种基于钙钛矿材料的太赫兹可调吸波超表面结构，其特征在于，所述蚀刻在钙钛矿层上的金属结构高度为0.2μm。

5.如权利要求1所述的一种基于钙钛矿材料的太赫兹可调吸波超表面结构，其特征在于，所述金属结构中组成内部十字的长方形结构的长为38.5μm，宽为4μm。

6.如权利要求1所述的一种基于钙钛矿材料的太赫兹可调吸波超表面结构，其特征在于，所述金属结构中的内部十字与外部圆环的凸起之间的间隙为2μm。

7.如权利要求1所述的一种基于钙钛矿材料的太赫兹可调吸波超表面结构，其特征在于，所述单元结构设置为100个，形成10*10的太赫兹可调吸波超表面。

8.如权利要求1所述的一种基于钙钛矿材料的太赫兹可调吸波超表面结构，其特征在于，所述钙钛矿层采用质量分数为10％的CH₃NH₃PbI₃溶液旋涂在介质基板上形成。

9.如权利要求1所述的一种基于钙钛矿材料的太赫兹可调吸波超表面结构，其特征在于，所述介质基板采用介电常数为3.5的二氧化硅制成。

10.如权利要求1所述的一种基于钙钛矿材料的太赫兹可调吸波超表面结构，其特征在于，所述金属底板的材质为金材料制成，所述蚀刻在钙钛矿层上的金属结构的材质为金材料。