[发明专利]一种高纯钛残靶制备氢化脱氢钛粉的方法在审
| 申请号： | 202211728297.4 | 申请日： | 2022-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN116100030A | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 吴景晖;杜全国;雷孝吕;李红洋;宋彦明 | 申请（专利权）人： | 宁波创润新材料有限公司 |
| 主分类号： | B22F9/02 | 分类号： | B22F9/02;B22F9/04;B22F1/145;B22F1/142 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 郎祺 |
| 地址： | 315460 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 钛残靶 制备 氢化 脱氢 方法 | ||
1.一种高纯钛残靶制备氢化脱氢钛粉的方法，其特征在于，步骤包括：
S1、对所述高纯钛残靶进行氢化处理，得氢化钛；
S2、对所述氢化钛进行脱氢处理，即得所述氢化脱氢钛粉；
其中，所述氢化处理包括：
S1-1、将氢化装置内抽真空至气压低于1Pa后，以50℃/h-150℃/h升温至350℃-450℃，并通入氢气至气压为1.05atm-1.2atm；
S1-2、氢化处理结束后，维持氢化装置内气压为正，并冷却至室温；
其中，所述脱氢处理包括：
S2-1、将脱氢装置内抽真空至气压低于1Pa后，以100℃/h-200℃/h升温至550℃-650℃；
S2-2、脱氢处理结束后，通入氩气，并冷却至室温。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤还包括：
S0、对所述高纯钛残靶进行预处理。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述预处理包括：表面处理或/和烘干处理。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述氢化处理结束的标志为所述氢化装置内气压不再降低。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤S2还包括：
S2-0、对所述氢化钛依次进行剥离处理以及破碎处理。
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述剥离处理包括：将所述氢化钛自所述高纯钛残靶的背板上剥离。
7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述破碎处理包括：将破碎装置内抽真空并通入氩气后，对剥离下的所述氢化钛进行破碎。
8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述脱氢处理自550℃-650℃下保持4h-5h后结束。
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