[发明专利]带安全机构的冷却液供给装置以及热载荷的冷却方法

说明书

本发明提供一种冷却液供给装置，即使在热载荷工作时冷却液供给停止的情况下也能对其继续冷却。经由旁通管(42、43)连接连结冷却液供给装置(1)与热载荷(100)的冷却液循环路(54)和连结冷却液供给装置(1)与散热液供给装置(110)的散热液循环路(55)，当从冷却液供给装置(1)向热载荷(100)供给冷却液时，用过热防止阀(45、47)关闭旁通管(42、43)，切断冷却液循环路(54)与散热液循环路(55)，当冷却液未从冷却液供给装置(1)供给至热载荷(100)时，用过热防止阀(45、47)打开旁通管(42、43)而相互连接冷却液循环路(54)与散热液循环路(55)，由此将来自散热液供给装置(110)的散热液供给向热载荷(100)。

本申请是发明名称为“带安全机构的冷却液供给装置以及热载荷的冷却方法”、申请日为2016年2月6日、申请号为201610082967.8的发明专利申请的分案申请。

领域

本发明涉及用于对半导体制造装置这样的产生热量的装置(热载荷)供给冷却液的冷却液供给装置，更详细而言，涉及一种具备安全机构的冷却液供给装置，其即使在因某种异常导致该冷却液供给装置停止运转而使得冷却液未被供给至热载荷的情况下，也能够继续冷却该热载荷从而防止该热载荷的过热。另外，本发明涉及一种热载荷的冷却方法。

背景技术

例如半导体制造装置、液晶制造装置等各种制造装置在工作时被加热器等加热，因此，通过从冷却液供给装置供给冷却液进行冷却而使其温度保持恒定。这样的冷却液供给装置优选具备安全装置，以便即使在所述制造装置(热载荷)工作时因某种异常导致该冷却液供给装置停止运转而使得冷却液未被供给至所述热载荷的情况下，也能够继续冷却所述热载荷从而防止其过热。

专利文献1中公开了水冷式的IC试验装置，该IC试验装置构成为，在测试头侧的水冷系统产生异常的情况下，无论冷却水的供给装置如何都能够使测试头侧的水冷系统安全地停止。

然而，所述IC试验装置存在如下问题，即：虽然对于在测试头侧的水冷系统产生异常的情况能够通过停止该测试头侧的水冷系统而确保安全性，但在冷却水的供给装置侧产生异常而未供给冷却水的情况下，由于测试头未被冷却，因此该测试头容易异常过热。

在先技术文献

专利文献：日本特开2009-25150号公报

本发明的技术课题在于提供一种安全性优异的冷却液供给装置，其即使在热载荷工作时因某种异常导致该冷却液供给装置停止运转而使得冷却液未被供给至所述热载荷的情况下，也能够继续冷却所述热载荷从而防止其过热。

发明内容

为了解决所述课题，本发明所涉及的带安全机构的冷却液供给装置的特征在于，具有：温度调节部，所述温度调节部使冷却液与散热液进行热交换而对该冷却液的温度进行调节；以及用户配管连接部，所述用户配管连接部用于经由用户配管而将该温度调节部与热载荷以及散热液供给装置连接。

所述用户配管连接部具有：使所述冷却液从所述温度调节部朝向所述热载荷流出的冷却液流出管；使所述冷却液从所述热载荷朝向所述温度调节部流入的冷却液流入管；使所述散热液从所述散热液供给装置朝向所述温度调节部流入的散热液流入管；以及使所述散热液从所述温度调节部朝向所述散热液供给装置流出的散热液流出管，并且具有：连结所述冷却液流出管与所述散热液流入管的第1旁通管；以及连结所述冷却液流入管与所述散热液流出管的第2旁通管，在所述第1旁通管连接有：对该第1旁通管进行开闭的第1过热防止阀；以及阻止液体从所述冷却液流出管朝向所述散热液流入管的流动的第1单向阀，在所述第2旁通管连接有：对该第2旁通管进行开闭的第2过热防止阀；以及阻止液体从所述散热液流出管朝向所述冷却液流入管的流动的第2单向阀。

在本发明中，所述第1过热防止阀以及第2过热防止阀被操作成在所述温度调节部运转时将所述第1旁通管以及第2旁通管关闭，在所述温度调节部的运转停止时将所述第1旁通管以及第2旁通管打开。