[发明专利]气相沉积设备

权利要求书

1.气相沉积设备，其特征在于，包括：

腔体；

基台，所述基台包括台面和基轴，所述台面位于所述腔体内，所述基轴连接所述台面下表面，所述基轴穿过所述腔体连接有调节板；

行星组件，所述行星组件包括旋转架，所述旋转架内周设置有内齿圈，所述旋转架底面中心与旋转轴心转动连接，所述旋转轴心安装在支撑板上，所述旋转轴心位于所述旋转架内的一端连接有行星架，所述行星架中心转动连有中心齿轮，所述行星架的多个端部分别转动连接有行星轮，所述行星轮分别与所述内齿圈和中心齿轮啮合；

多个旋转升降组件，多个所述旋转升降组件通过固定板相连，所述旋转升降组件与所述调节板相接，所述旋转升降组件通过所述行星轮的旋转驱动升降；

所述旋转升降组件为差动螺旋组件，所述差动螺旋组件包括：螺杆，所述螺杆下端通过支撑件连接于所述行星轮中心，所述螺杆两端分别设置有螺纹旋向相同的第一螺旋副和第二螺旋副；

固定壳，多个所述固定壳通过所述固定板相连，所述固定壳内设置有对应所述第一螺旋副的第一内螺纹；

差动位移头，所述差动位移头在所述固定壳内平动，所述差动位移头内设置有对应所述第二螺旋副的第二内螺纹，所述差动位移头顶部设置为半球形，所述差动位移头顶部抵接所述调节板；

所述第一内螺纹的导程大于第二内螺纹的导程，所述第一螺旋副和第二螺旋副之间的螺杆外套设有弹簧，所述弹簧一端抵接所述第一螺旋副，所述弹簧另一端抵接所述固定壳或差动位移头；

所述支撑板和固定板通过安装板固定连接于所述腔体下方。

2.根据权利要求1所述的气相沉积设备，其特征在于，所述固定壳上端设置有内六角导槽，所述差动位移头设置有外六角导柱，所述外六角导柱插入所述内六角导槽。

3.根据权利要求1所述的气相沉积设备，其特征在于，所述差动位移头表面设置有刻度。

4.根据权利要求1所述的气相沉积设备，其特征在于，所述调节板与所述腔体之间设置有多根固定螺柱，所述固定螺柱一端与所述腔体锁紧，所述固定螺柱另一端穿过所述调节板，所述调节板两侧的固定螺柱上均螺纹连接有固定螺母。

5.根据权利要求1所述的气相沉积设备，其特征在于，所述行星架上设置有连接所有中心齿轮和行星轮的轮轴，所述轮轴下端套设有限位套，所述轮轴上端设置有限位槽，所述限位槽内卡设有等高隔离环，所述中心齿轮和行星轮卡设在所述等高隔离环与限位套之间。

6.根据权利要求1所述的气相沉积设备，其特征在于，所述台面连接有加热器，所述基轴通过驱动机构与所述调节板转动连接，所述腔体与调节板之间的基轴外设置有波纹管，所述波纹管的两端分别与所述腔体底部和调节板相连。

7.根据权利要求1所述的气相沉积设备，其特征在于，所述旋转架外周设置有防滑纹。