[发明专利]电子探针样品表面导电性处理方法在审
| 申请号： | 202211597976.2 | 申请日： | 2022-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN115616016A | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 赵明;王俊萍;武慧敏;康东艳 | 申请（专利权）人： | 矿冶科技集团有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2202 | 分类号： | G01N23/2202;G01N23/225 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 王闯 |
| 地址： | 100160 北京市丰台区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子探针 样品 表面 导电性 处理 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种电子探针样品表面导电性处理方法，其特征在于，包括：
将导电性良好的超薄二维材料设置在不导电样品的表面，干燥、热处理得到目标样品。
2.根据权利要求1所述的电子探针样品表面导电性处理方法，其特征在于，所述导电性良好的超薄二维材料包括石墨烯。
3.根据权利要求2所述的电子探针样品表面导电性处理方法，其特征在于，所述石墨烯制备成悬浊液使用，所述悬浊液的制备方法包括：
将石墨烯分散在有机溶剂中，然后超声处理。
4.根据权利要求3所述的电子探针样品表面导电性处理方法，其特征在于，所述有机溶剂包括乙醇。
5.根据权利要求1所述的电子探针样品表面导电性处理方法，其特征在于，所述不导电样品包括Ga掺杂ZnO。
6.根据权利要求5所述的电子探针样品表面导电性处理方法，其特征在于，所述干燥的温度为室温至60℃，时间为6-24h。
7.根据权利要求5所述的电子探针样品表面导电性处理方法，其特征在于，所述热处理的温度为80-400℃，时间为2-24h。
8.根据权利要求1所述的电子探针样品表面导电性处理方法，其特征在于，所述热处理在惰性气氛下进行。
9.根据权利要求1-8任一项所述的电子探针样品表面导电性处理方法，其特征在于，所述不导电样品使用前进行抛光处理。
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